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Study on characterization of polishing and nano-micro processing with AFM( Atomic Micro Scope)

Study on characterization of polishing and nano-micro processing with AFM( Atomic Micro Scope)
AFM(原子显微镜)抛光及纳微加工表征研究
批准号:
15K05731
负责人:
MATSUI Shinsuke
金额:
$3.16万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2015
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2015-04-01 至 2018-03-31

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GaN研磨加工高能率化の研究(第1報) -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-
提高GaN抛光效率的研究(第一次报告) - 使用小型抛光机利用反射光路的紫外线照射和强碱性功能水的效果 -
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人 矢島利康,二宮大輔, 山本栄一,伊東利洋]
通讯作者: 山本栄一,伊東利洋
AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工
使用 AFM 对光纤端面进行纳米/微米加工
DOI: --
发表时间: 2016
期刊:
影响因子: --
作者: [志関真生, 松井伸介]
通讯作者: 松井伸介
小径パッドによる部分研磨の検討
使用小直径垫进行局部抛光的考虑
DOI: --
发表时间: 2016
期刊:
影响因子: --
作者: [松井伸介, 青山卓也]
通讯作者: 青山卓也
小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-
使用小型抛光机评估GaN抛光特性-碱性液体和紫外线照射的影响-
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [Shinsuke Matsui and Ken-noshin Kimura, S. Matsui and K. Kimura, Shinsuke Matsui and Atsunobu Une, 藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人,矢島利康,二宮大輔,山本栄一,伊東利洋]
通讯作者: 藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人,矢島利康,二宮大輔,山本栄一,伊東利洋
共 11 条
    Characterization of Polishing elementary steps with Atomic-Force-Microscope nano machining
    • 批准号:
      24560143
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额:
      $3.49万
    • 财政年份:
      2012
    • 负责人:
      MATSUI Shinsuke
    • 依托单位:
    国内基金
    海外基金
    蓝宝石衬底的超声辅助固相反应研磨加工机理及关键技术研究
    • 批准号:
      52175404
    • 项目类别:
      面上项目
    • 资助金额:
      58万元
    • 批准年份:
      2021
    • 负责人:
      胡中伟
    • 依托单位:
    机器人减速器轴承强化喷射研磨加工效应及界面层形貌结构演变机理研究
    • 批准号:
      51975136
    • 项目类别:
      面上项目
    • 资助金额:
      58.0万元
    • 批准年份:
      2019
    • 负责人:
      梁忠伟
    • 依托单位:
    轻薄轴承强化研磨加工及表面残余应力形成机理
    • 批准号:
      50875052
    • 项目类别:
      面上项目
    • 资助金额:
      35.0万元
    • 批准年份:
      2008
    • 负责人:
      刘晓初
    • 依托单位:
    磁性磨料研磨加工机理
    • 批准号:
      59175223
    • 项目类别:
      面上项目
    • 资助金额:
      4.5万元
    • 批准年份:
      1991
    • 负责人:
      王珉
    • 依托单位: