Study on characterization of polishing and nano-micro processing with AFM( Atomic Micro Scope)

AFM(原子显微镜)抛光及纳微加工表征研究

基本信息

  • 批准号:
    15K05731
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.16万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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GaN研磨加工高能率化の研究(第1報) -小型研磨機を用いた反射型光路による紫外線照射と強アルカリ機能水の効果-
提高GaN抛光效率的研究(第一次报告) - 使用小型抛光机利用反射光路的紫外线照射和强碱性功能水的效果 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人 矢島利康,二宮大輔;山本栄一,伊東利洋
  • 通讯作者:
    山本栄一,伊東利洋
AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工
使用 AFM 对光纤端面进行纳米/微米加工
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    志関真生;松井伸介
  • 通讯作者:
    松井伸介
小径パッドによる部分研磨の検討
使用小直径垫进行局部抛光的考虑
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    松井伸介;青山卓也
  • 通讯作者:
    青山卓也
小型研磨機によるGaNの研磨加工特性の評価 -アルカリ液と紫外線照射の効果-
使用小型抛光机评估GaN抛光特性-碱性液体和紫外线照射的影响-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shinsuke Matsui and Ken-noshin Kimura;S. Matsui and K. Kimura;Shinsuke Matsui and Atsunobu Une;藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人,矢島利康,二宮大輔,山本栄一,伊東利洋
  • 通讯作者:
    藤野雄大,松井伸介,遠藤謙人,矢島利康,二宮大輔,山本栄一,伊東利洋
AFMによる光ファイバ端面のナノ・マイクロ加工 第4報‐触針摩耗の検討‐
使用 AFM 进行光纤端面纳米/微米加工第四次报告 - 触针磨损研究 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    松井伸介;青山卓也;志関真生 松井伸介
  • 通讯作者:
    志関真生 松井伸介
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    2022
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    10J00431
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    2010
  • 资助金额:
    $ 3.16万
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    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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    17917021
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 3.16万
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  • 资助金额:
    $ 3.16万
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  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 3.16万
  • 项目类别:
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  • 批准号:
    9527120
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 3.16万
  • 项目类别:
    Standard Grant
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