The study of polishing process to fabricate a nonwarped thin substrate using freezing pin chuck
The study of polishing process to fabricate a nonwarped thin substrate using freezing pin chuck
冷冻针卡盘制备无翘曲薄基板的抛光工艺研究
批准号：
15K05748
负责人：
Yoshitomi Kenichiro
金额：
$3.24万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)
用于抛光的冷冻针卡盘的开发（第二次报告）
用于抛光的冷冻针卡盘的开发（第二次报告）
DOI：
10.2493/jjspe.82.82
发表时间：
2016
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi NABESAWA, Takeshi HITOBO, Toyohisa ASAJI, Takashi ABE, Minoru SEKI, 吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋]
通讯作者：
吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー
使用冷冻针卡盘对石英玻璃基板进行整平和抛光 - 针之间冷却液的影响 -
使用冷冻针卡盘对石英玻璃基板进行整平和抛光 - 针之间冷却液的影响 -
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[0)M. Yasui, S. Kaneko, M. Kurouchi, H. Ito, T. Ozawa and M. Arai, 森章洋, 吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋]
通讯作者：
吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋
Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer
使用冷冻针卡盘对翘曲石英玻璃晶片进行研磨的特性
使用冷冻针卡盘对翘曲石英玻璃晶片进行研磨的特性
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Yoshitomi, A. Une, M. Mochida]
通讯作者：
M. Mochida
冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化
使用冷冻针卡盘优化基板固定程序
使用冷冻针卡盘优化基板固定程序
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi Nabesawa, Masumi Yamada, Minoru Seki, 安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大, 吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋]
通讯作者：
吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋
冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－
使用冷冻针卡盘进行高平整度抛光（第一份报告） - 弯月面力对基板变形的影响 -
使用冷冻针卡盘进行高平整度抛光（第一份报告） - 弯月面力对基板变形的影响 -
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[多田一生，吉冨健一郎，餅田 正秋，宇根 篤暢]
通讯作者：
多田一生，吉冨健一郎，餅田 正秋，宇根 篤暢
共 7 条
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