The study of polishing process to fabricate a nonwarped thin substrate using freezing pin chuck

冷冻针卡盘制备无翘曲薄基板的抛光工艺研究

• 批准号: 15K05748
• 负责人: Yoshitomi Kenichiro
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K05748/
• 关键词: 冷凍ピンチャック; 反り; 冷凍液; 薄型基板; 研削・研磨; 石英ガラス基板; 石英ガラスウエハ; ウエハ保持; 基板変形; 真空チャック; 石英ガラス; 研磨; 凝固保持

项目成果

Development of a Freezing Pin Chuck for Polishing (2nd Report)

用于抛光的冷冻针卡盘的开发（第二次报告）

• DOI: 10.2493/jjspe.82.82
• 发表时间: 2016
• 期刊: Journal of the Japan Society for Precision Engineering
• 作者: Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI;吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
• 通讯作者: 吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋

冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー

使用冷冻针卡盘对石英玻璃基板进行整平和抛光 - 针之间冷却液的影响 -

• 发表时间: 2017
• 作者: 0)M. Yasui;S. Kaneko;M. Kurouchi;H. Ito;T. Ozawa and M. Arai;森章洋;吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋
• 通讯作者: 吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋

Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer

使用冷冻针卡盘对翘曲石英玻璃晶片进行研磨的特性

• 发表时间: 2017
• 作者: K. Yoshitomi;A. Une;M. Mochida
• 通讯作者: M. Mochida

冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化

使用冷冻针卡盘优化基板固定程序

• 发表时间: 2016
• 作者: Hirofumi Nabesawa;Masumi Yamada;Minoru Seki;安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大;吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋
• 通讯作者: 吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋

冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－

使用冷冻针卡盘进行高平整度抛光（第一份报告） - 弯月面力对基板变形的影响 -

• 发表时间: 2015
• 作者: 多田一生，吉冨健一郎，餅田 正秋，宇根 篤暢