Device control and structure design for high conversion efficiency of MEMS vibratory energy harvesters with high Q-value in a wide band

宽带高 Q 值 MEMS 振动能量采集器高转换效率的器件控制和结构设计

基本信息

  • 批准号:
    15K06016
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.16万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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Crystal Orientation of Sol-Gel Piezoelectric PZT Films and Vibrating Energy Conversion Efficiency on MEMS Buckled Diaphragm Structures
溶胶-凝胶压电 PZT 薄膜的晶体取向和 MEMS 屈曲隔膜结构上的振动能量转换效率
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Z. A. F. M. Napiah;R. Gyobu;T. Hishiki;T. Maruyama;and K. Iiyama;山下馨
  • 通讯作者:
    山下馨
超音波センサ用MEMS圧電ダイアフラムのパルス音波受信時の振動モードへの上部電極の影響
超声波传感器MEMS压电振膜接收脉冲声波时上电极对振动模式的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H. Ryuto;M. Takeuchi;中瀬大志;西岡知記
  • 通讯作者:
    西岡知記
ゾル・ゲルPZT薄膜の応力制御による超音波マイクロセンサの高感度化ダイアフラムたわみ構造の形成
溶胶-凝胶PZT薄膜应力控制形成超声微传感器高灵敏膜片偏转结构
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    西海 太貴;荒井 開人;山下 馨;田中 光;野田 実
  • 通讯作者:
    野田 実
圧電MEMS超音波センサ用ダイアフラムの静的撓み量が振動モードに与える影響
压电MEMS超声波传感器膜片静态偏转对振动模态的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hendra Adinanta;Hirotaka Kato;Takeo Maruyama;小林 雅典, 辻 寧英;西岡知記
  • 通讯作者:
    西岡知記
仮焼成温度を変えたゾル・ゲルPZT薄膜のMEMSダイアフラム上とウェハ上での残留応力評価
不同预烘烤温度溶胶-凝胶PZT薄膜MEMS膜片和晶圆残余应力评估
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    塩見 丈;山下 馨;荒井 開;西海 太貴;野田 実
  • 通讯作者:
    野田 実
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Mizuguchi Yuki;Morimoto Satoshi;Kimura Shihori;Takano Noriyoshi;Yamashita Kaoru;Seki Yasufumi;Bokuda Kanako;Yatabe Midori;Yatabe Junichi;Watanabe Daisuke;Ando Takashi;Ichihara Atsuhiro;森克仁
  • 通讯作者:
    森克仁
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  • DOI:
    10.1177/1179556519855387
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    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yamashita Kaoru;Kibe Toshiro;Ohno Sachi;Uchino Minako;Higa Yurina;Niiro Ayako;Nakamura Norifumi;Sugimura Mitsutaka
  • 通讯作者:
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  • DOI:
    10.1536/ihj.17-612
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    2018
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  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Yamashita Kaoru;Kohjitani Atsushi;Miyata Masaaki;Ohno Sachi;Tohya Akina;Ohishi Mitsuru;Sugimura Mitsutaka
  • 通讯作者:
    Sugimura Mitsutaka
リピドミクスからみえてきた酸化脂肪酸によるマスト細胞の制御機構
脂质组学揭示氧化脂肪酸对肥大细胞的控制机制
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yamamoto Tsunehisa;Endo Jin;Kataoka Masaharu;Matsuhashi Tomohiro;Katsumata Yoshinori;Shirakawa Kohsuke;Yoshida Naohiro;Isobe Sarasa;Moriyama Hidenori;Goto Shinichi;Yamashita Kaoru;Ohto-Nakanishi Takayo;Nakanishi Hiroki;Shimanaka Yuta;Kono Nozomu;Shinmura ;◯嶋中雄太・村上誠
  • 通讯作者:
    ◯嶋中雄太・村上誠

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  • 资助金额:
    $ 3.16万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
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知道了