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Synthesis of high toughness boron carbon nitride coatings by selective ion extraction in HiPIMS plasma discharge

Synthesis of high toughness boron carbon nitride coatings by selective ion extraction in HiPIMS plasma discharge
HiPIMS 等离子体放电选择性离子萃取合成高韧性氮化硼碳涂层
批准号：
16K06801
负责人：
Shimizu Tetsuhide
金额：
$3.16万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K06801/
关键词：
炭窒化ホウ素膜HiPIMS質量分析イオン基板パルスバイアス硬質膜靭性炭化ホウ素基板パルスバイアス電圧遅延印加時間イオン種パルス幅ピーク電流密度反応性スパッタリングパルス周波数イオンエネルギースパッタリング高靱性化

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IFM, リンシェーピン大学(スウェーデン)
IFM，林雪平大学（瑞典）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
In-situ observation of lubricant flow on laser textured die surface in sheet metal forming
金属板材成形中激光纹理模具表面润滑剂流动的现场观察
DOI： 10.1016/j.proeng.2017.10.983
发表时间： 2017
期刊： Procedia Engineering
影响因子： --
作者： [Vorholt Jochen, Shimizu Tetsuhide, Kobayashi Hiroyuki, Heinrich Lukas, Flosky Hendrik, Vollertsen Frank, Yang Ming]
通讯作者： Yang Ming
高密度イオン化PVD法によるAlTiNの残留応力制御とそのナノ積層化の効果
高密度电离PVD法控制AlTiN残余应力及其纳米分层效应
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [清水徹英, 高橋秀治, 小宮英敏, 寺西義一, 楊明]
通讯作者： 楊明
Reactive growth of HfN and TiO2 using peak current regulated high-power impulse magnetron sputtering
使用峰值电流调节高功率脉冲磁控溅射反应生长 HfN 和 TiO2
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Shimizu, M. Villamayor, J. Keraudy, D. Lundin, U. Helmersson]
通讯作者： U. Helmersson
共 49 条
    Understanding the growth mechanism of boron carbon nitride films based on the ion transportation behavior in HiPIMS deischarge
    • 批准号：
      17KK0136
    • 项目类别：
      Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
    • 资助金额：
      $9.07万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Shimizu Tetsuhide
    • 依托单位：
      Tokyo Metropolitan University
    Development of Highly-Durable Surface Textured Forming Die by In-Plane Hetero-Structuring of Diamond Like Carbon Films
    • 批准号：
      26820327
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Shimizu Tetsuhide
    • 依托单位：
      Tokyo Metropolitan University
    国内基金
    海外基金
    一种基于HiPIMS电源的复杂结构陶瓷表面溅射沉积金属薄膜的机理研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2022
    • 负责人：
      刘向力
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学（深圳）
    高铝AlCrON纳米复合涂层的HiPIMS制备及其塑性变形行为研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      10.0万元
    • 批准年份：
      2019
    • 负责人：
      吴正涛
    • 依托单位：
      广东工业大学
    HIPIMS制备环境自适应C/MoSx复合润滑薄膜的界面结构调控及摩擦机理