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Understanding the growth mechanism of boron carbon nitride films based on the ion transportation behavior in HiPIMS deischarge

基于 HiPIMS 放电中离子传输行为了解硼碳氮化物薄膜的生长机制

基本信息

批准号：
17KK0136
负责人：
Shimizu Tetsuhide
金额：
$ 9.07万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018 至 2020
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Experimental verification of deposition rate increase, with maintained high ionized flux fraction, by shortening the HiPIMS pulse

通过缩短 HiPIMS 脉冲，在保持高电离通量分数的情况下，沉积速率增加的实验验证

DOI：
10.1088/1361-6595/abec27
发表时间：
2021
期刊：
Plasma Sources Science and Technology
影响因子：
3.8
作者：
Shimizu T;Zanska M;Villoan R P;Brenning N;Helmersson U;Lundin Daniel
通讯作者：
Lundin Daniel

Impact of magnetic field configuration in HiPIMS discharge of W in Ar atmosphere

磁场配置对 Ar 气氛中 W 的 HiPIMS 放电的影响

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yuta Yamamura;Yoshikazu Teranishi;Hidetoshi Komiya;Ming Yang;Tetsuhide Shimizu
通讯作者：
Tetsuhide Shimizu

Linkoping(リンショーピン)大学(スウェーデン)

林雪平大学（瑞典）

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

第96回IUVSTA国際ワークショップ「HiPIMS Today」

第 96 届 IUVSTA 国际研讨会“HiPIMS Today”

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
通讯作者：

Effect of Peak Current Density on Inner-wall Deposition of Ti Films by High-power Impulse Magnetron Sputtering

峰值电流密度对高功率脉冲磁控溅射内壁沉积Ti薄膜的影响

DOI：
10.1380/vss.63.404
发表时间：
2020
期刊：
Vacuum and Surface Science
影响因子：
0
作者：
小宮英敏;寺西義一;シャアアナ;楊明;清水徹英
通讯作者：
清水徹英

DOI：
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作者：
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Shimizu Tetsuhide其他文献

In-situ observation of lubricant flow on laser textured die surface in sheet metal forming

金属板材成形中激光纹理模具表面润滑剂流动的现场观察

DOI：
10.1016/j.proeng.2017.10.983
发表时间：
2017
期刊：
Procedia Engineering
影响因子：
0
作者：
Vorholt Jochen;Shimizu Tetsuhide;Kobayashi Hiroyuki;Heinrich Lukas;Flosky Hendrik;Vollertsen Frank;Yang Ming
通讯作者：
Yang Ming

フェムト秒レーザー粒子集積プロセスにおける集光部近傍の伝熱解析

飞秒激光粒子集成过程中光聚焦部分附近的传热分析

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hu Jun;Shimizu Tetsuhide;Yoshino Tomoaki;Shiratori Tomomi;Yang Ming;西山宏昭，沼田洸，青山昌央
通讯作者：
西山宏昭，沼田洸，青山昌央

Investigation on Material Deformation Characteristics of Ultrasound-assisted Microcompression with Dynamic Force Sensing Technology

动态力传感技术超声辅助微压缩材料变形特性研究

DOI：
10.18494/sam.2019.2359
发表时间：
2019
期刊：
Sensors and Materials
影响因子：
1.2
作者：
Hu Jun;Shimizu Tetsuhide;Yang Ming
通讯作者：
Yang Ming

Surface Texturing of Die Surface toward the Realization of Dry Forming Operation

模具表面的表面纹理化以实现干式成型操作

DOI：
10.18914/tribologist.63.07_474
发表时间：
2018
期刊：
JOURNAL OF JAPANESE SOCIETY OF TRIBOLOGISTS
影响因子：
0
作者：
Ekeroth Sebastian;Ikeda Shuga;Boyd Robert D.;Shimizu Tetsuhide;Helmersson Ulf;清水徹英
通讯作者：
清水徹英

Substrate Surrounding Type Magnetron Sputtering Equipment Comparison of HiPIMS and DCMS Drive

基板环绕式磁控溅射设备 HiPIMS 与 DCMS 驱动器比较

DOI：
10.1541/ieejfms.142.101
发表时间：
2022
期刊：
IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
影响因子：
0
作者：
Suematsu Kota;Kousaka Hiroyuki;Furuki Tatsuya;Shimizu Tetsuhide;Ohta Takayuki;Oda Akinori
通讯作者：
Oda Akinori