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Fabrication of filtered arc deposition system with mixed vapor introduction and preparation of highly functional carbon films with high density

Fabrication of filtered arc deposition system with mixed vapor introduction and preparation of highly functional carbon films with high density
混合蒸气引入过滤电弧沉积系统的制作及高密度高功能碳膜的制备
批准号：
17H03217
负责人：
Takikawa Hirofumi
金额：
$11.65万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17H03217/
关键词：
真空アークパルスアーク電子ビーム蒸着薄膜コーティングダイヤモンドライクカーボン機能性薄膜耐熱性EB蒸着フィルタードアーク蒸着ダイヤモンドライクカーボン膜耐熱性向上電子ビーム蒸発高温金型保護膜

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Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition
采用过滤电弧沉积法制备的超薄多层耐磨导电含氮DLC薄膜
DOI： 10.7567/1347-4065/ab1472
发表时间： 2019
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [T. Harigai, K. Tamekuni, Y. Iijima, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, S. Kaneko, S. Kunitsugu, H. Habuchi, M. Kamiya, M. Taki, H. Gonda]
通讯作者： H. Gonda
Preparation of Si-Contained DLC by Co-Deposition of Filtered-Pulse-Arc and Electron-Beam Depositions
过滤脉冲电弧与电子束沉积共沉积制备含硅 DLC
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [Y.Sugie, T.Harigai, T.Toya, H.Takikawa, M.kamiya]
通讯作者： M.kamiya
真空アーク蒸着におけるパーティクルフリーコーティング技術と応用展開
真空电弧蒸发无颗粒镀膜技术及应用开发
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Matsumoto, Y. Tanaka, K. Yano, H. Takikawa]
通讯作者： H. Takikawa
Self-supporting ta-C film consisting of laminated layers prepared using T-shape filtered arc deposition
采用 T 形过滤电弧沉积制备的由层压层组成的自支撑 ta-C 薄膜
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Harigai, M. Yamano, Y. Kondo, F. Yoda, S. Degai, T. Tanimoto, Y. Suda, H. Takikawa, M. Nishiuchi, H. Sakaki, K. Kondo, S. Kaneko, S. Kunitsugu]
通讯作者： S. Kunitsugu
共 77 条
    Feasibility study of tribological coating on bearing for small flywheel battery
    • 批准号：
      26630112
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Takikawa Hirofumi
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    海外基金