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Development of an integrated model of the hybrid pumping plasma light source based on laser assisted discharge

基于激光辅助放电的混合泵浦等离子体光源集成模型的研制

基本信息

批准号：
20340166
负责人：
SASAKI Akira
金额：
$ 10.9万
依托单位：
Japan Atomic Energy Agency
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

Modeling methods of laser-plasma hybrid pumping plasma light sources are investigated. On the modeling of plasma atomic processes, a model, which calculates level population, emissivity and opacity of the plasma with a reasonable accuracy and is capable of reproducing emission spectrum, is developed. Calculated dependence of the plasma radiation pressure, which shows non-monotonic behavior with respect to density, suggests instability of the plasmas. The model is also applied to evaluate the emission characteristics of Tb plasma for future EUV applications. On the modeling of plasma radiation hydrodynamics, importance of modeling methods, which can calculate the temporal and spatial structure formation, is discussed. Instead of existing MHD and other fluid and particle approach, it is found that using the percolation model, the initial structure of the discharge can be reproduced.

研究了激光-等离子体混合泵浦等离子体光源的建模方法。在等离子体原子过程的模拟方面，建立了一个计算等离子体能级布居、发射率和不透明度的模型，该模型具有合理的精度，并能再现发射光谱。计算的等离子体辐射压力，这表明相对于密度的非单调行为的依赖性，表明不稳定的等离子体。该模型也适用于评估未来EUV应用的Tb等离子体的发射特性。在等离子体辐射流体动力学建模方面，讨论了计算等离子体辐射流体动力学时空结构形成的建模方法的重要性。与现有的磁流体动力学及其它流体和粒子的方法不同，我们发现使用渗流模型可以再现放电的初始结构。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Proceedings"Atomic processes in the LPP and LA-DPP EUV sources"

论文集“LPP 和 LA-DPP EUV 源中的原子过程”

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
A. Sasaki;K. Nishihara;A. Sunahara;H. Furukawa;T. Nishikawa;F. Koike
通讯作者：
F. Koike

Atomic processes in the LPP and LA-DPP EUV sources

LPP 和 LA-DPP EUV 光源中的原子过程

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
Procedings. SPIE, Alternative Lithographic Technologies 7271
影响因子：
0
作者：
A.Sasaki;K.Nishihara;A.Sunahara;H.Furukawa;T.Nishikawa;F.Koike
通讯作者：
F.Koike

Detailed atomic modeling of Sn plasmas for the EUV source

DOI：
10.1088/1742-6596/112/4/042062
发表时间：
2008-05
期刊：
Optics letters
影响因子：
3.6
作者：
A. Sasaki;A. Sunahara;K. Nishihawra;T. Nishikawa;F. Koike;H. Tanuma
通讯作者：
A. Sasaki;A. Sunahara;K. Nishihawra;T. Nishikawa;F. Koike;H. Tanuma

Development of the theoretical model of the plasma EUV source

等离子体EUV光源理论模型的开发

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
A. Sasaki;K. Nishihara;A. Sunahara;H. Furukawa;K. Nishikawa;F. Koike
通讯作者：
F. Koike

Percolation simulation of laser guided electrical discharge

激光引导放电的渗流模拟

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
Phys. Rev. Lett.
影响因子：
0
作者：
A. Sasaki;Y. Kishimoto;E. Takahashi;S. Kato;T. Fujii;and S. Kanazawa
通讯作者：
and S. Kanazawa

DOI：
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0
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通讯作者：
HIMENO Kanji

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影响因子：
0
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影响因子：
0
作者：
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通讯作者：
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0
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0
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UMEZAWA Minoru;SASAKI Akira;SHONO Yumi;KONDO Keiko;KINOSHITA Koji;HORIE Mariko and FUJIWARA Nobuhiko;UMEZAWA Minoru;UMEZAWA Minoru;UMEZAWA Minoru
通讯作者：
UMEZAWA Minoru