Advanced design of micro/nano architectures using laser interference metallurgy

利用激光干涉冶金技术进行微/纳米结构的先进设计

• 批准号: 66577916
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Frank Mücklich
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Funktionswerkstoffe
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2007-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/66577916?language=en
• 关键词: Advanced; design; micro; nano; architectures

LIMET erlaubt die Generierung periodischer Strukturen auf der mikro/nano-Skala mit wohl definierter Geometrie (beispielsweise linien-, gitter- und punktartige Strukturen). Diese entsprechen periodischen Intensitätsverteilungen, die durch Interferenz mehrerer, hochenergetischer, kohärenter Laserstrahlen erzeugt werden. Das vorgestellte Fortsetzungsprojekt knüpft die erste Projektphase an. Hierin wurden die Grundlagen zur laser-induzierten und mikrostrukturellen Gestaltung von metallischen Dünnschichtsystemen zur Verbesserung der tribo-mechanischen Eigenschaften erarbeitet.Spezielle, noch offene Fragestellungen, wie die genaue Kontrolle der erzeugten Topographie und das Verständnis der zum maßschneidern intrinsischer Eigenschaften relevanten Parameter gilt es zu klären. Als Kern des Antrags wird daher das Verhalten metallischer Dünnschichten bei der periodischen Strukturierung durch LIMET hauptsächlich unter Vakuum sowie der getrennte Einfluss topographischer und mikrostruktureller Faktoren auf ihre mechanischen Eigenschaften (Härte) detailliert untersucht.

LIMET在具有明确几何形状（包括线性、几何和点结构）的微/纳米结构上生成周期结构。这种周期性的强度变化，通过更强的干扰，更高的能量，更强的激光束产生韦尔登。Das vorgestellte Fortsetzungsprojekt knüpft die erste Projektphase an. Hierin设计了用于摩擦本征机理描述的金属Dünschichtsystemen的激光诱导和微结构设计的基础。Spezielle还提供了Fragestellungen，如一般的地形控制和相关参数的描述。所有的克恩的Antrags将daher Verhalten metallischer Dünnschichten bei der periodischen Strukturierung durch LIMET hauptsächlich unter Vakuum sowie的getrennte Einfluss topographischer和mikrostruktureller Faktoren auf ihre mechanischen Eigenschaften（Härte）detailliert untersucht.

项目成果

Microstructure of sputter-deposited noble metal-incorporated oxide thin films patterned by means of laser interference

激光干涉图案化溅射沉积贵金属掺入氧化物薄膜的微观结构

• DOI: 10.1557/opl.2011.861
• 发表时间: 2011
• 期刊: MRS Proceedings
• 作者: R. Catrin;T. Gries;D. Horwat;S. Migot;F. Mücklich
• 通讯作者: F. Mücklich