Nanostrukturierte Hartstoffschichten im System TixWyCrzB2

研究结果表明：纳米结构与纳米结构与纳米结构的关系研究（TixWyCrz）B2在Verständnis der Bildungsprozesse der gef<e:1>中的应用。Die Schichtabscheidung soll mit magnetronsptern erfolgen, wobei folgende Vorgehensweisen zur Erzeugung eines nanostrukturierten geftestet werden sollen:(1) Die Abscheidung aus (Tix- WyCrz)B2-Mischkristalltargets mit anschließender gl<s:1> hung和In-situ-Ausscheidung weiterer Phasen， (2) gleichzeitiung - reaktive Abscheidung aus TiB2-, WB2-, and CrB2- Tragets sowie (3) Abscheidung von Diborid-Multilagen and anschließender interdiffusionsgl<e:1>。在Hinblick显微镜下进行了显微形貌分析、纳米光谱分析、化学光谱分析Röntgenbeugung （GIXRD）、电子光谱分析（REM， TEM）、光栅光谱分析（AFM）、Sekundärionen-质谱分析（SIMS）、Röntgenfluoreszenzanalyse （RFA）和微光光谱分析（GDOS）等研究。动力学建模与动力学建模während动力学建模与动力学建模与动力学建模与动力学建模研究。die dient dazu, diese Prozesse grundlegend zu verstehen, um im Hinblick autiine Optimierung der schicstructuregeignete Parameter zu erhalten。[2] [j] .纳米压痕材料的研究与应用。我们将继续努力，我们将继续努力，我们将继续努力，我们将继续努力。

Das Ziel dieses Antrags ist die Herstellung und die Charakterisierung von nanostrukturierten keramischen Hartstoffschichten im System (TixWyCrz)B2 sowie ein Verständnis der Bildungsprozesse der Gefüge. Die Schichtabscheidung soll mit Magnetronsputtern erfolgen, wobei folgende Vorgehensweisen zur Erzeugung eines nanostrukturierten Gefüges getestet werden sollen: (1) Die Abscheidung aus (Tix- WyCrz)B2-Mischkristalltargets mit anschließender Glühung und In-situ-Ausscheidung weiterer Phasen, (2) gleichzeitige reaktive Abscheidung aus TiB2-, WB2-, und CrB2- Tragets sowie (3) Abscheidung von Diborid-Multilagen und anschließender Interdiffusionsglühung. Die Sputterschichten sollen im Hinblick auf ihre Morphologie, ihr Nanogefüge und ihre chemische Zusammensetzung mit Röntgenbeugung (GIXRD), Elektronenmikroskopie (REM, TEM), Rasterkraftmikroskopie (AFM), Sekundärionen- Massenspektrometrie (SIMS), Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) und Glimmentladungsspektroskopie (GDOS) charakterisiert werden. Mit diesen Methoden sollen auch die strukturellen Änderungen und kinetischen Prozesse während der Bildung und Modifizierung der Schichten untersucht und modelliert werden. Dies dient dazu, diese Prozesse grundlegend zu verstehen, um im Hinblick auf eine Optimierung der Schichtstruktur geeignete Parameter zu erhalten. Eine weitere Charakterisierung der Schichten zur Ermittlung von Härtewerten soll mittels Nanoindention erfolgen. Die Ergebnisse sollen mit den strukturellen Eigenschaften der Schichten korreliert und die Schichten optimiert werden.