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Study on diamond SAW with high piezoelectric ScAlN thin film

Study on diamond SAW with high piezoelectric ScAlN thin film
高压ScAlN薄膜金刚石声表面波研究
批准号：
26420299
负责人：
Fujii Satoshi
金额：
$3.16万
依托单位：
Okinawa National College of Technology (2015-2016)Chiba University (2014)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420299/
关键词：
弾性表面波圧電薄膜ダイヤモンドマイクロ波工学ScAlN薄膜RFマグネトロンスパッタSAW電気機械結合係数マグネトロン位相ノイズScAlNRFスパッタリングラマン分光SAWフィルタスパッタリング

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Deposition of ScAlN thin film using dual-sputtering method
双溅射法沉积ScAlN薄膜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Satoshi Fujii, Masahiro Sumisaka, Yukihiko Okada, Noriyuki Hasuike, Kenji Kisoda, Hiroshi Harima, Tatsuya Omori, and Ken-ya Hashimoto]
通讯作者： and Ken-ya Hashimoto
Sputter Deposition of ScAlN Films by Reactive Sputtering Using Large Size ScAl Alloy Target with High Sc Content -- Impact of Nitridation of Sputtering Target --
使用大尺寸高Sc含量ScAl合金靶材通过反应溅射沉积ScAlN薄膜--溅射靶材氮化的影响--
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Hashimoto, M.Sumisaka, K.Yamazaki, S.Fujii, G.B.Tang, T.Han, Y.Suzuki, S.Otomo, and T.Omori]
通讯作者： and T.Omori
Highly c-axis-oriented ScAlN thin films deposited using Sc-Al alloy target
DOI： 10.1109/mwsym.2015.7166841
发表时间： 2015-05
期刊： 2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium
影响因子： --
作者： [S. Fujii;M. Sumisaka;G. Tang;Yusuke Suzuki;S. Otomo;T. Omori;K. Hashimoto]
通讯作者： S. Fujii;M. Sumisaka;G. Tang;Yusuke Suzuki;S. Otomo;T. Omori;K. Hashimoto
Deposition of Highly C-Axis Oriented ScAlN Thin Films by RF Magnetron Sputtering Using a Sc-Al Alloy Target
使用 Sc-Al 合金靶材通过射频磁控溅射沉积高度 C 轴取向的 ScAlN 薄膜
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Fujii, S. Shimizu, M. Sumisaka, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto]
通讯作者： K. Hashimoto
共 11 条
    システマティックレビューによるリネゾリド関連血小板減少発現因子の解明
    • 批准号：
      21H04175
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
    • 资助金额：
      $0.26万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      Fujii Satoshi
    • 依托单位：
      Sapporo Medical University
    Enhancing sensitivity of beta-amyloid sensor for early diagnosis of Alzheimer's disease
    • 批准号：
      20K12681
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Fujii Satoshi
    • 依托单位：
      Konan University
    A development of macroeconomic model system for the simutalion of resilience investment and a practical proposal for building national resilience
    • 批准号：
      18H01679
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.15万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Fujii Satoshi
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Studies of Iwasawa theory and non-abelian unramified Galois groups
    • 批准号：
      18K03259
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.33万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Fujii Satoshi
    • 依托单位：
      Shimane University
    海外基金