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Study on diamond SAW with high piezoelectric ScAlN thin film

高压ScAlN薄膜金刚石声表面波研究

基本信息

批准号：
26420299
负责人：
Fujii Satoshi
金额：
$ 3.16万
依托单位：
Okinawa National College of Technology (2015-2016)Chiba University (2014)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420299/
关键词：
弾性表面波圧電薄膜ダイヤモンドマイクロ波工学 ScAlN薄膜 RFマグネトロンスパッタ SAW 電気機械結合係数マグネトロン位相ノイズ ScAlN RFスパッタリングラマン分光 SAWフィルタスパッタリング

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Deposition of ScAlN thin film using dual-sputtering method

双溅射法沉积ScAlN薄膜

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Satoshi Fujii;Masahiro Sumisaka;Yukihiko Okada;Noriyuki Hasuike;Kenji Kisoda;Hiroshi Harima;Tatsuya Omori;and Ken-ya Hashimoto
通讯作者：
and Ken-ya Hashimoto

Sputter Deposition of ScAlN Films by Reactive Sputtering Using Large Size ScAl Alloy Target with High Sc Content -- Impact of Nitridation of Sputtering Target --

使用大尺寸高Sc含量ScAl合金靶材通过反应溅射沉积ScAlN薄膜--溅射靶材氮化的影响--

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
K.Hashimoto;M.Sumisaka;K.Yamazaki;S.Fujii;G.B.Tang;T.Han;Y.Suzuki;S.Otomo;and T.Omori
通讯作者：
and T.Omori

Highly c-axis-oriented ScAlN thin films deposited using Sc-Al alloy target

DOI：
10.1109/mwsym.2015.7166841
发表时间：
2015-05
期刊：
2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium
影响因子：
0
作者：
S. Fujii;M. Sumisaka;G. Tang;Yusuke Suzuki;S. Otomo;T. Omori;K. Hashimoto
通讯作者：
S. Fujii;M. Sumisaka;G. Tang;Yusuke Suzuki;S. Otomo;T. Omori;K. Hashimoto

Deposition of Highly C-Axis Oriented ScAlN Thin Films by RF Magnetron Sputtering Using a Sc-Al Alloy Target

使用 Sc-Al 合金靶材通过射频磁控溅射沉积高度 C 轴取向的 ScAlN 薄膜

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
S. Fujii;S. Shimizu;M. Sumisaka;Y. Suzuki;S. Otomo;T. Omori;K. Hashimoto
通讯作者：
K. Hashimoto

Study on an Injection-Locked Magnetron

注入锁定磁控管的研究

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
S. Fujii;M. M. Maitani;E. Suzuki;S. Chonan;M. Fukui;Y. Wada
通讯作者：
Y. Wada

DOI：
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作者：
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Fujii Satoshi其他文献

Lipid Bilayer-based Noise-free MicroRNA Detection

基于脂质双层的无噪声 MicroRNA 检测

DOI：
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Proc. MicroTAS 2016
影响因子：
0
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通讯作者：
Takeuchi Shoji

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DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Misawa Nobuo;Fujii Satoshi;Kamiya Koki;Osaki Toshihisa;Miyama Yukiko;Takaku Tomoyuki;Takahashi Yasuhiko;Saito Koichi Takeuchi Shoji
通讯作者：
Saito Koichi Takeuchi Shoji

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影响因子：
0
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通讯作者：
Munetaka Oyama

ヒト肺由来線維芽細胞に対する結核菌の細胞傷害活性の解析

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DOI：
发表时间：
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期刊：
影响因子：
0
作者：
Fujii Satoshi;Ibe Yuta;Ishigo Tomoyuki;Inamura Hirotoshi;Kunimoto Yusuke;Fujiya Yoshihiro;Kuronuma Koji;Nakata Hiromasa;Fukudo Masahide;Takahashi Satoshi;瀧井猛将，安田直美，山田博之，大原直也
通讯作者：
瀧井猛将，安田直美，山田博之，大原直也

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DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Matsuhisa Masayuki;Tsubaki Shuntaro;Kishimoto Fuminao;Fujii Satoshi;Hirano Iku;Horibe Masahiro;Suzuki Eiichi;Shimizu Ryota;Hitosugi Taro;Wada Yuji;Kieko Kamitake;Kazuto Ota;Kieko Kamitake;神竹喜重子
通讯作者：
神竹喜重子