Study on non-contact probing technology using charged particle beams
带电粒子束非接触探测技术研究
基本信息
- 批准号:26420312
- 负责人:
- 金额:$ 3.16万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2014
- 资助国家:日本
- 起止时间:2014-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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Study on non-contact current path formation using charged particle beams
带电粒子束非接触电流路径形成研究
- DOI:
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:1.6
- 作者:J. Ma;Y. Fujimura;M. Utsumi;S. Tomonaga;Y. Mashiko
- 通讯作者:Y. Mashiko
荷電粒子ビームを用いた電流経路形成技術に関する研究
带电粒子束电流路径形成技术研究
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:馬晶鴻,朝長俊也,内海元貴;鈴木界人,北野 大;益子洋治
- 通讯作者:益子洋治
荷電粒子ビームを用いた電流経路機構に関する研究
带电粒子束电流路径机理研究
- DOI:
- 发表时间:2016
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Y. Uzawa;Y. Fujii;A. Gonzalez;K. Kaneko;M. Kroug;T. Kojima;A. Miyachi;K. Makise;H. Terai;Z. Wang;and S. Asayama;内海元貴, 馬晶鴻,藤村陽平,國重友里,益子洋治
- 通讯作者:内海元貴, 馬晶鴻,藤村陽平,國重友里,益子洋治
2電極へのFIB同時プロービング計測についての研究
两电极同时FIB探测测量研究
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:花田昌大,垣副大輝;鈴木界人, 則松研二,益子洋治
- 通讯作者:鈴木界人, 則松研二,益子洋治
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Mashiko Yoji其他文献
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$ 3.16万 - 项目类别:
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