Study on non-contact probing technology using charged particle beams
Study on non-contact probing technology using charged particle beams
带电粒子束非接触探测技术研究
批准号：
26420312
负责人：
Mashiko Yoji
金额：
$3.16万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
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DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
Microelectronics Reliability
影响因子：
1.6
作者：
[J. Ma, Y. Fujimura, M. Utsumi, S. Tomonaga, Y. Mashiko]
通讯作者：
Y. Mashiko
荷電粒子ビームを用いた電流経路形成技術に関する研究
带电粒子束电流路径形成技术研究
带电粒子束电流路径形成技术研究
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
第35回ナノテスティングシンポジウム(NANOTS2015)会議録
影响因子：
--
作者：
[馬晶鴻,朝長俊也,内海元貴, 鈴木界人,北野 大, 益子洋治]
通讯作者：
益子洋治
荷電粒子ビームによる電流経路形成に関する研究
带电粒子束电流路径形成研究
带电粒子束电流路径形成研究
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[中田昌宏, 近藤知明, 金高健二, 井上純一, 裏升吾, 朝長俊也]
通讯作者：
朝長俊也
荷電粒子ビームを用いた電流経路機構に関する研究
带电粒子束电流路径机理研究
带电粒子束电流路径机理研究
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
第36回ナノテスティングシンポジウム(NANOTS2016)会議録
影响因子：
--
作者：
[Y. Uzawa, Y. Fujii, A. Gonzalez, K. Kaneko, M. Kroug, T. Kojima, A. Miyachi, K. Makise, H. Terai, Z. Wang, and S. Asayama, 内海元貴, 馬晶鴻，藤村陽平，國重友里，益子洋治]
通讯作者：
内海元貴, 馬晶鴻，藤村陽平，國重友里，益子洋治
2電極へのFIB同時プロービング計測についての研究
两电极同时FIB探测测量研究
两电极同时FIB探测测量研究
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
第34回ナノテスティングシンポジウム(NANOTS2014)会議録
影响因子：
--
作者：
[花田昌大,垣副大輝, 鈴木界人, 則松研二,益子洋治]
通讯作者：
鈴木界人, 則松研二,益子洋治
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Lsi1基因对水稻抗UV-B辐射的调节机制研究
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批准号：30971737
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项目类别：面上项目
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资助金额：26.0万元
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批准年份：2009
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负责人：林文雄
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依托单位：
VLSI/LSI积木块布图模式总体布线方法研究
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批准号：68876211
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项目类别：面上项目
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资助金额：2.0万元
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批准年份：1988
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负责人：张良震
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依托单位：
VLSI/LSI基本模块自动自生成研究
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批准号：68776011
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项目类别：面上项目
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资助金额：2.0万元
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批准年份：1987
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负责人：戎蒙恬
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依托单位：
用于LSI电位测量的二次电子能量分析器的实验研究
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批准号：68776005
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项目类别：面上项目
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资助金额：2.5万元
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批准年份：1987
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负责人：桂裕宗
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依托单位：
LSI工艺及器件参数统计模拟系统
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批准号：68676020
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项目类别：面上项目
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资助金额：4.0万元
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批准年份：1986
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负责人：夏武颖
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依托单位：