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Thin films for microelectronics and microtechnologies
用于微电子和微技术的薄膜
基本信息
- 批准号：138543-2000
- 负责人：
- 金额：$ 3.12万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：2004
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2004-01-01 至 2005-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Dew, Steven其他文献
Study of Development Processes for ZEP-520 as a High-Resolution Positive and Negative Tone Electron Beam Lithography Resist
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10.1143/jjap.51.06fc05 - 发表时间：
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- 作者：
Mohammad, Mohammad Ali;Koshelev, Kirill;Dew, Steven - 通讯作者：
Dew, Steven
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Micro- and Nanoscale Component Assembly Using Biomolecular Recognition
使用生物分子识别进行微米级和纳米级元件组装
- 批准号：
RGPIN-2015-05041 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Micro- and Nanoscale Component Assembly Using Biomolecular Recognition
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- 批准号：
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- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
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Micro- and Nanoscale Component Assembly Using Biomolecular Recognition
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- 批准号：
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- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Micro- and Nanoscale Component Assembly Using Biomolecular Recognition
使用生物分子识别进行微米级和纳米级元件组装
- 批准号：
RGPIN-2015-05041 - 财政年份：2016
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Micro- and Nanoscale Component Assembly Using Biomolecular Recognition
使用生物分子识别进行微米级和纳米级元件组装
- 批准号：
RGPIN-2015-05041 - 财政年份：2015
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
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Nanofabrication and nanointegration processes
纳米制造和纳米集成工艺
- 批准号：
138543-2010 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication and nanointegration processes
纳米制造和纳米集成工艺
- 批准号：
138543-2010 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication and nanointegration processes
纳米制造和纳米集成工艺
- 批准号：
138543-2010 - 财政年份：2012
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication and nanointegration processes
纳米制造和纳米集成工艺
- 批准号：
138543-2010 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication and nanointegration processes
纳米制造和纳米集成工艺
- 批准号：
138543-2010 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
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Directed Self-Assembly of Block Copolymer Thin Films into Useful Organized Patterns for Microelectronics and Nanofabrication.
将嵌段共聚物薄膜定向自组装成微电子和纳米制造有用的组织图案。
- 批准号：
2011254 - 财政年份：2020
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$ 3.12万 - 项目类别：
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Structural Studies of Thin Films for Microelectronics Applications
微电子应用薄膜的结构研究
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1106070 - 财政年份：2011
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Continuing Grant
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- 批准号：
324593-2005 - 财政年份：2005
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Innovation Challenge Award
Thin films for microelectronics and microtechnologies
用于微电子和微技术的薄膜
- 批准号：
138543-2000 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Thin films for microelectronics and microtechnologies
用于微电子和微技术的薄膜
- 批准号：
138543-2000 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Thin films for microelectronics and microtechnologies
用于微电子和微技术的薄膜
- 批准号：
138543-2000 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Thin films for microelectronics and microtechnologies
用于微电子和微技术的薄膜
- 批准号：
138543-2000 - 财政年份：2000
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
RESEARCH INITIATION AWARD: Improved Adhesion and Selective Area Deposition of Metal Films on Ceramics for Microelectronics
研究启动奖：改善微电子陶瓷上金属薄膜的附着力和选择性区域沉积
- 批准号：
9410224 - 财政年份：1994
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Standard Grant
Permeation and diffusion in thin polymer films: from microelectronics to packaging
聚合物薄膜中的渗透和扩散：从微电子到包装
- 批准号：
45465-1989 - 财政年份：1991
- 资助金额：
$ 3.12万 - 项目类别：
Strategic Grants - Individual (H)