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Polysilane sol-gel precursors for inorganic thin films
用于无机薄膜的聚硅烷溶胶-凝胶前体
基本信息
- 批准号：448505-2013
- 负责人：
- 金额：$ 1.82万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Engage Grants Program
- 财政年份：2013
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2013-01-01 至 2014-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The demand for high purity thin films of semiconductors and other inorganic solids with desirable materials
高纯度的半导体薄膜和其他无机固体所需材料的需求
项目成果
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