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Chemical vapour deposition and rapid thermal processing tool to support nanoelectronics research
支持纳米电子学研究的化学气相沉积和快速热处理工具
基本信息
- 批准号：RTI-2017-00152
- 负责人：
- 金额：$ 10.93万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments
- 财政年份：2016
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2016-01-01 至 2017-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
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项目成果
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