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Precursors for the production of yttrium oxide thin films by chemical vapour deposition**

Precursors for the production of yttrium oxide thin films by chemical vapour deposition**
通过化学气相沉积法生产氧化钇薄膜的前体**
批准号：
533699-2018
负责人：
Berg, David
金额：
$1.81万
依托单位：
University of Victoria
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2018
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-01-01 至 2019-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=645226
关键词：
Precursorsproductionyttriumoxidethin

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
海星化学通过化学气相沉积（CVD）技术为半导体工业生产薄膜。氧化钇薄膜在微电子应用中很有价值，可以用作光子波导和耐用耐磨涂层。Seastar Chemicals打算扩展他们的薄膜制造方法，以在广泛的衬底上生产氧化钇涂层。然而，由于缺乏适当的挥发性和热稳定性强的分子前体，这一领域的商业发展受到阻碍。该项目的目标是开发新的配体，产生具有增强挥发性但合理热稳定性的钇配合物。
英文摘要
Seastar Chemicals produces thin films for the semiconductor industry by chemical vapour deposition (CVD) techniques. Yttrium oxide thin films are of interest in microelectronics applications, for use as photonic waveguides and as durable wear-resistant coatings. Seastar Chemicals intends to extend their thin film fabrication methods to produce yttrium oxide coatings on a wide range of substrates. However, the commercial development of this area is hindered by the lack of suitably volatile and thermally robust molecular precursors. The goal of this project is to develop new ligands that produce yttrium complexes with enhanced volatility but reasonable thermal stability.
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会议论文
Control of Function and Reactivity in Lanthanide Chemistry by Tailored Ligand Design
  • 批准号：
    RGPIN-2014-03707
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Berg, David
  • 依托单位：
    University of Victoria
Control of Function and Reactivity in Lanthanide Chemistry by Tailored Ligand Design
  • 批准号：
    RGPIN-2014-03707
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Berg, David
  • 依托单位：
    University of Victoria
Removal of pigments from the edible sea plant, mazzaella japonica, by extraction or chemical treatment
  • 批准号：
    509008-2017
  • 项目类别：
    Engage Grants Program
  • 资助金额：
    $1.82万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Berg, David
  • 依托单位：
    University of Victoria
Control of Function and Reactivity in Lanthanide Chemistry by Tailored Ligand Design
  • 批准号：
    RGPIN-2014-03707
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Berg, David
  • 依托单位：
    University of Victoria
国内基金
海外基金
交货期敏感的单件模式产品供应链的协调优化
  • 批准号：
    70871060
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2008
  • 负责人：
    杨文胜
  • 依托单位：
    南京理工大学
供应链中生产和配送联合排序和调度的模型、算法及应用
  • 批准号：
    70372058
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    14.0万元
  • 批准年份：
    2003
  • 负责人：
    万国华
  • 依托单位：
    深圳大学