State-of-the-art nanofabrication processes for manufacturing integrated photonic devices based on silicon nitride

用于制造基于氮化硅的集成光子器件的最先进的纳米加工工艺

基本信息

  • 批准号:
    530034-2018
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 11.66万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    加拿大
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants
  • 财政年份:
    2020
  • 资助国家:
    加拿大
  • 起止时间:
    2020-01-01 至 2021-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

The photonic industry is following into the footsteps of microelectronic manufacturers by exploring how to increase the level of integration of optical products in order to reduce the cost of current optical interconnects. This has led to the development of silicon photonics, which takes advantage of the state-of-the-art fabrication processes and massive capital investment made by the microelectronic industry to produce affordable components. Implementing efficient optical functionalities with materials originally developed to build and package electronic circuits is challenging. To address this issue, AEPONYX is developing a microfabricated platform that combines integrated optical components based on silicon nitride with microelectromechanical systems (MEMS). Preliminary studies have clearly shown that the bottleneck of such a technology is related to the nanofabrication processes used for manufacturing these integrated photonic devices. In this context, the team composed of researchers from INRS, UQAM and AEPONYX proposes to push the limits of nanofabrication technologies (electron beam lithography and nanometer pattern transfer) in order to (i) control the critical dimensions and the sidewall profiles of integrated photonic devices at the nanoscale level, (ii) minimize the sidewall roughness of the waveguides, and (iii) develop a robust and reliable nanofabrication process at the lowest cost. Validation of such an optimized nanofabrication process will be performed by manufacturing dense wavelength division multiplexing (DWDM) filters arranged in an 8-channel wavelength selective optical filter insensitive to polarization and compatible with the wavelength channel allocation specified in the ITU G.989.2 NG-PON2 standard. The results of the investigation performed in the proposed project will directly impact the quality and the pace at which products based on MEMS and integrated optics will be able to be mass manufactured by AEPONYX and its industrial collaborators C2MI, Teledyne Dalsa and IBM.
光电子行业正在追随微电子制造商的脚步,探索如何提高光学产品的集成水平,以降低当前光学互连的成本。这导致了硅光电子的发展,它利用微电子行业最先进的制造工艺和巨额资本投资来生产负担得起的元件。使用最初开发用于构建和封装电子电路的材料来实现高效的光学功能是具有挑战性的。为了解决这一问题,AEPONYX正在开发一种将基于氮化硅的集成光学元件与微电子机械系统(MEMS)相结合的微制造平台。初步研究清楚地表明,这种技术的瓶颈与用于制造这些集成光子器件的纳米制造工艺有关。在这一背景下,由INRS、UQAM和AEPONYX的研究人员组成的团队建议推动纳米制造技术(电子束光刻和纳米图案转移)的极限,以(I)在纳米级控制集成光子器件的关键尺寸和侧壁轮廓,(Ii)最小化波导的侧壁粗糙度,以及(Iii)以最低的成本开发坚固可靠的纳米制造工艺。这种优化的纳米制造工艺的验证将通过制造密集波分复用(DWDM)滤光片来执行,该滤光片排列在对偏振不敏感的8通道波长选择滤光片中,并与ITU G.989.2 NG-PON2标准中指定的波长通道分配兼容。拟议项目中进行的调查结果将直接影响AEPONYX及其工业合作伙伴C2MI、Teledyne Dalsa和IBM批量生产基于MEMS和集成光学技术的产品的质量和速度。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Chaker, Mohamed其他文献

Functionalization of cellulose nanocrystal films using Non-Thermal atmospheric-Pressure plasmas
  • DOI:
    10.1016/j.apsusc.2020.145566
  • 发表时间:
    2020-05-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    6.7
  • 作者:
    Matouk, Zineb;Torriss, Badr;Chaker, Mohamed
  • 通讯作者:
    Chaker, Mohamed
Oxygen Vacancies Control Transition of Resistive Switching Mode in Single-Crystal TiO2 Memory Device
  • DOI:
    10.1021/acsami.7b03527
  • 发表时间:
    2017-05-17
  • 期刊:
  • 影响因子:
    9.5
  • 作者:
    Ge, Jun;Chaker, Mohamed
  • 通讯作者:
    Chaker, Mohamed
Metal-insulator transition temperature of boron-doped VO2 thin films grown by reactive pulsed laser deposition
  • DOI:
    10.1016/j.scriptamat.2019.09.019
  • 发表时间:
    2020-03-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    6
  • 作者:
    Hajlaoui, Thameur;Emond, Nicolas;Chaker, Mohamed
  • 通讯作者:
    Chaker, Mohamed
Towards controlled synthesis and better understanding of highly luminescent PbS/CdS core/shell quantum dots
  • DOI:
    10.1039/c1jm11205h
  • 发表时间:
    2011-01-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Zhao, Haiguang;Chaker, Mohamed;Ma, Dongling
  • 通讯作者:
    Ma, Dongling
Low resistivity WxV1-xO2-based multilayer structure with high temperature coefficient of resistance for microbolometer applications
  • DOI:
    10.1063/1.4932954
  • 发表时间:
    2015-10-05
  • 期刊:
  • 影响因子:
    4
  • 作者:
    Emond, Nicolas;Hendaoui, Ali;Chaker, Mohamed
  • 通讯作者:
    Chaker, Mohamed

Chaker, Mohamed的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Chaker, Mohamed', 18)}}的其他基金

Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
等离子体应用于微米和纳米制造
  • 批准号:
    CRC-2016-00045
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Canada Research Chairs
Plasma synthesis of innovative thin films and nanomaterials for device fabrication
用于器件制造的创新薄膜和纳米材料的等离子体合成
  • 批准号:
    RGPIN-2019-06560
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas Applied To Micro- And Nanomanufacturing
等离子体应用于微纳制造
  • 批准号:
    CRC-2016-00045
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Canada Research Chairs
Plasma synthesis of innovative thin films and nanomaterials for device fabrication
用于器件制造的创新薄膜和纳米材料的等离子体合成
  • 批准号:
    RGPIN-2019-06560
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
等离子体应用于微米和纳米制造
  • 批准号:
    CRC-2016-00045
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Canada Research Chairs
Plasma synthesis of innovative thin films and nanomaterials for device fabrication
用于器件制造的创新薄膜和纳米材料的等离子体合成
  • 批准号:
    RGPIN-2019-06560
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
等离子体应用于微米和纳米制造
  • 批准号:
    CRC-2016-00045
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Canada Research Chairs
State-of-the-art nanofabrication processes for manufacturing integrated photonic devices based on silicon nitride
用于制造基于氮化硅的集成光子器件的最先进的纳米加工工艺
  • 批准号:
    530034-2018
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Collaborative Research and Development Grants
Plasma synthesis of innovative thin films and nanomaterials for device fabrication
用于器件制造的创新薄膜和纳米材料的等离子体合成
  • 批准号:
    RGPIN-2019-06560
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
等离子体应用于微米和纳米制造
  • 批准号:
    CRC-2016-00045
  • 财政年份:
    2018
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Canada Research Chairs

相似国自然基金

从精子tsRNA影响子代白色脂肪代谢探讨疏肝补肾毓麟汤在ART中干预的作用及机制
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2024
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
蒿花粉组分Art v 1-6损伤气道上皮屏障、促发过敏性哮喘的机制研究
  • 批准号:
    82370041
  • 批准年份:
    2023
  • 资助金额:
    49.00 万元
  • 项目类别:
    面上项目
铝毒通过茉莉酸途径激活水稻关键抗铝毒转录因子ART1功能的机制解析
  • 批准号:
    32300228
  • 批准年份:
    2023
  • 资助金额:
    30.00 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
慢性HIV感染者ART过程中病毒库在免疫重建中的作用及机制研究
  • 批准号:
    82302511
  • 批准年份:
    2023
  • 资助金额:
    30 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
ART3通过内质网应激介导特发性炎性肌病肌肉炎症细胞浸润的机制研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    30 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于MR图像的鼻咽癌放射治疗在线剂量验证研究
  • 批准号:
    12005316
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    24.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于机器学习的腮腺保护的鼻咽癌自适应放疗策略研究
  • 批准号:
    12005072
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    24.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
基于深度学习的肺通气功能图像生成方法及其应用
  • 批准号:
    11905295
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    29.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
男男同性性行为HIV-1 CRF01_AE感染者疾病进展、ART治疗效果与肠道菌群的相互作用研究
  • 批准号:
    81971915
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    55.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
O-GlcNAc糖基化修饰通过代谢重编程抑制ART小鼠胎盘血管生成的机制研究
  • 批准号:
    31801250
  • 批准年份:
    2018
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目

相似海外基金

Art Box digital
艺术盒数码
  • 批准号:
    ES/Y010914/1
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Research Grant
ART: Translational Research Ambassadors Network for Strengthening Institutional Capacity and Fostering a Responsive and Open Mindset (TRANSFORM)
ART:加强机构能力和培养积极响应和开放心态的转化研究大使网络(TRANSFORM)
  • 批准号:
    2331208
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
Art, Environment and Sustainable Futures
艺术、环境和可持续未来
  • 批准号:
    24K03565
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
ART: Mining the Rich Vein of Research in Montana
艺术:挖掘蒙大拿州研究的丰富脉络
  • 批准号:
    2331325
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
ART: Research to Solutions, Building Translational Capacity in the Central Florida Innovation Ecosystem
ART:从研究到解决方案,在佛罗里达州中部创新生态系统中建设转化能力
  • 批准号:
    2331319
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
ART: Re-engineering Technology Transfer at the University of Wyoming
ART:怀俄明大学的技术转让再造
  • 批准号:
    2331477
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
Encouraging care for biodiversity through curated landscapes: community art and citizen science.
通过精心策划的景观鼓励对生物多样性的关注:社区艺术和公民科学。
  • 批准号:
    AH/Z505353/1
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Research Grant
Art and Policy in the Global Contemporary: Examining the Role of the Arts in the Production of Public Policy
全球当代的艺术与政策:审视艺术在公共政策制定中的作用
  • 批准号:
    EP/Y036972/1
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Research Grant
ART: Accelerating Research Translation in Southern Mississippi from Concepts to Careers
艺术:加速密西西比州南部从概念到职业的研究转化
  • 批准号:
    2331378
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
ART: Intensifying Translation of Research in Oklahoma (InTRO)
艺术:俄克拉荷马州研究的强化转化(InTRO)
  • 批准号:
    2331409
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 11.66万
  • 项目类别:
    Cooperative Agreement
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了