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Plasmas applied to micro- and nanomanufacturing
等离子体应用于微米和纳米制造
基本信息
- 批准号：CRC-2016-00045
- 负责人：
- 金额：$ 14.57万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Canada Research Chairs
- 财政年份：2022
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2022-01-01 至 2023-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
laser-produced plasmas high-density plasmas low-temperature atmospheric pressure plasmas thin film and nanomaterial synthesis nanometer pattern transfer advanced device fabrication
激光等离子体高密度等离子体低温大气压等离子体薄膜及纳米材料合成纳米图形转移先进器件制作
项目成果
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