金属氧化物的原子层沉积-猫眼课题宝

金属氧化物的原子层沉积

批准号：

580764-2022

负责人：

Saidaminov, MakhsudM

金额：

$1.64万

依托单位：

University of Victoria

依托单位国家：

加拿大

项目类别：

Alliance Grants

财政年份：

2022

资助国家：

加拿大

项目状态：

已结题

起止时间：

2022-01-01 至 2023-12-31

来源：

https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=747631

关键词：

Atomic Layer Deposition Metal Oxides

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项目成果

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英文摘要

Metal oxides are key materials in the semiconductor industry and are generally made by a method called Atomic Layer Deposition (ALD) for advanced electronic devices. However, thus-made metal oxide materials show performance that are often irreproducible. The goal of this project is to develop a reproducible, efficient, and stable metal oxide synthesis methods in partnership with an industry partner.

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