Multisensor Mess- und Referenzsystem für optische Präzisionssensoren

光学传感技术与纳米结构研究进展。wiichtige optimierungskriteren frneue sensorsystem sind横向和轴向Auflösungen， die Reduzierung von Störeffekten sowie eine grose ße roubustheit und Zuverlässigkeit。Untersucht werden sowohl microoptische Punktsensoren也auch kamerabasierte Sensoren zur flächenhaften Geometrieerfassung。大北市干涉测量与控制系统研究。结构测量与控制系统。Um die eigenen Sensoren in ihren unterschiedlichen Ausbaustufen charakterisieren und qualifiizieren zu können, ist in flexibles Referenzmesssystem erforderlich, das mit geeigneten kommerziell verf<s:1> garen Sensoren f<e:1> r Vergleichsmessungen ausgestattet ist。daf<s:1> r wurden ein hochauflösender， flächenhaft信使konfokaler传感器和konpaktes Rasterkraftmikroskop ausgewählt。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [2]die erfordert entsprechend dimensionerte, präzise position - and Messachsen。Der Messplatz soll zusätzlich zur sensor qualiizizierung in Rahmen von dritmittel project ggf。[8] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [3]Die Messmöglichkeiten werden innerhalb der Universität auch anderen Arbeitsgruppen zugänglich gemacht。

Das Fachgebiet Messtechnik forscht auf dem Gebiet der optischen Sensorik zur Erfassung von Mikro- und Nanostrukturen. Wichtige Optimierungskriterien für neue Sensorsysteme sind hohe laterale und axiale Auflösungen, die Reduzierung von Störeffekten sowie eine große Robustheit und Zuverlässigkeit. Untersucht werden sowohl mikrooptische Punktsensoren als auch kamerabasierte Sensoren zur flächenhaften Geometrieerfassung. Dabei werden interferometrische und konfokale Messprinzipien sowie Methoden der strukturierten Beleuchtung genutzt. Um die eigenen Sensoren in ihren unterschiedlichen Ausbaustufen charakterisieren und qualifizieren zu können, ist ein flexibles Referenzmesssystem erforderlich, das mit geeigneten kommerziell verfügbaren Sensoren für Vergleichsmessungen ausgestattet ist. Dafür wurden ein hochauflösender, flächenhaft messender konfokaler Sensor und ein kompaktes Rasterkraftmikroskop ausgewählt. Um Messungen reproduzierbar durchführen und vergleichen zu können, sollen geeignete Mess- und Kalibierobjekte in einer Aufspannung untersucht werden. Dies erfordert entsprechend dimensionierte, präzise Positionier- und Messachsen. Der Messplatz soll zusätzlich zur Sensorqualifizierung im Rahmen von Drittmittelprojekten ggf. auch für Auftrags- und Vergleichsmessungen an mikro- und nanostrukturierten Objekten in unterschiedlichen Skalen genutzt werden. Die Messmöglichkeiten werden innerhalb der Universität auch anderen Arbeitsgruppen zugänglich gemacht.