Neue Werkzeugelektroden für die Mikrofunkenerosion

Die Combination von UV-Tiefenlithographie und Galvanoabformung bietet neue Möglichkeiten zur Herstellung von Mikroelektroden，welche für die mikrofunkenerosive Bearbeitung eingesetzt eingesetzt韦尔登können.在韦尔登电气公司，有很小的结构和很小的电容器，没有任何其他的结构和电容器可以用来韦尔登。Hauptanwendungsgebiete für die neuartige Prozessalist der Mikrowerkzeug und Formenbau.在工艺过程中，电镀和电火花的测试是一个非常重要的问题，目前还没有研究出来。通过对工作介质和工作方法的修改，使微电极的工作稳定。在微电流成形加工中，对电镀材料的研究是非常重要的。Von besonderem Interesse sind Werkstoffe mit hoher Verschleißfestigkeit und Wärmebeständigkeit wie Wolfram- und Eisenkobaltlegierungen.在电解槽中有一个很大的溶解度，而分散的纳米粒子可以韦尔登。Bei erfolgreicher galvanischer Abscheidung solcher Schichten eröffnen sich ganz neue Möglichkeiten im Bereich Mikrofunkenerosion. Umfeld教授的建议是在汉诺威大学和位于亚琛的WZL作物栽培技术研究所建立一个共同的研究项目，作为一个韦尔登的标准。WZL公司拥有电镀技术和紫外线光刻技术的专业知识，是一家专业从事荧光技术的公司。尽管Zusammenführen dieser beiden Kernkompetenzen sollen wichtige Grundlagen erforscht韦尔登，auf deren Basis neue Anwendungen für die Mikrosenkbearbeitung entwickelt韦尔登können. Der folgende Abschnitt fastst die weesentlichen Zielsetzungen beider Forschungsstellen zusammen，um das Gesamtpotentizial dieser Gemeinschaftsarbeit aufzuzeigen und die grundsätzliche Arbeitsteilung zu erläutern.

Die Kombination von UV-Tiefenlithographie und Galvanoabformung bietet neue Möglichkeiten zur Herstellung von Mikroelektroden, welche für die mikrofunkenerosive Bearbeitung eingesetzt werden können. Hierbei werden Elektroden mit feinen Strukturen und Mikrokavitäten gefertigt, die mit keinem anderen Fertigungsverfahren hergestellt werden können. Hauptanwendungsgebiete für die neuartige Prozesskette ist der Mikrowerkzeug und Formenbau. Das Verschleißverhalten der galvanisch abgeschiedenen Elektroden in Abhängigkeit von den Prozessbedingungen ist ein wichtiger Bereich, der bis heute nicht erforscht ist. Durch Modifikation des Arbeitsmediums und der Spülmethode wird versucht, das Verschleißverhalten der Mikroelektroden zu verbessern. Im Bereich der Fertigung von Werkzeugelektroden mittels Mikrogalvanoformung besteht Forschungsbedarf hinsichtlich der galvanisch abzuscheidenden Materialien. Von besonderem Interesse sind Werkstoffe mit hoher Verschleißfestigkeit und Wärmebeständigkeit wie Wolfram- und Eisenkobaltlegierungen. Dabei sollen einerseits im Elektrolyt gelöste Salze, andererseits dispergierte Nanopartikel verwendet werden. Bei erfolgreicher galvanischer Abscheidung solcher Schichten eröffnen sich ganz neue Möglichkeiten im Bereich Mikrofunkenerosion. Ausgehend von diesem Umfeld haben sich das imt der Universität Hannover und der Lehrstuhl für Technologie der Fertigungsverfahren des WZL in Aachen zu einem gemeinsamen Forschungsprojekt zusammengeschlossen, das an beiden Standorten durchgeführt werden soll. Die ausgewiesene Expertise des imt liegt im Bereich der Galvanotechnik und der UV-Tiefenlithographie, die des WZL liegt im Bereich der Prozesstechnik zur Funkenerosion. Durch das Zusammenführen dieser beiden Kernkompetenzen sollen wichtige Grundlagen erforscht werden, auf deren Basis neue Anwendungen für die Mikrosenkbearbeitung entwickelt werden können. Der folgende Abschnitt fasst die wesentlichen Zielsetzungen beider Forschungsstellen zusammen, um das Gesamtpotenzial dieser Gemeinschaftsarbeit aufzuzeigen und die grundsätzliche Arbeitsteilung zu erläutern.