Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag

点击翻译按钮获取中文摘要

Spanende Präzisionsbearbeitungsverfahren kommen in zunehmendem Maße bei der Fertigung von Mikrobauteilen aus Keramik und Silizium zum Einsatz. Dabei treten neben die rein spanend hergestellten Mikrobauteile in verstärktem Maße hybride Bauteile, die neben Dünnfilmstrukturen auch mechanisch mikrobearbeitete Funktionsflächen aufweisen. Vor diesem Hintergrund ist die Erforschung der Möglichkeiten bei der Herstellung von Bauteilen mit hohen Aspektverhältnissen, wie sie bei der Fertigung von keramischen Mikroschwingsensoren erforscht werden, von hervorragender Bedeutung. Im letzten Antragszeitraum steht die Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis aus Werkstoff-Sandwichstrukturen im Vordergrund. Dabei wird als Werkstoffolge Keramik-Glas-Keramik gewählt. Die wissenschaftliche Bedeutung liegt insbesondere darin, wie sich schmale Stege von Werkstoffen mit beträchtlichen Unterschieden im Spanverhalten weitgehend duktil bearbeiten lassen.