Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag

通过仿形磨削和激光材料去除生产陶瓷微振动传感器

• 批准号: 5276528
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 2000-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5276528?language=en
• 关键词: Fertigung; von; keramischen; Mikroschwingungssensoren; durch

Spanende Präzisionsbearbeitungsverfahren kommen in zunehmendem Maße bei der Fertigung von Mikrobauteilen aus Keramik und Silizium zum Einsatz. Dabei treten neben die rein spanend hergestellten Mikrobauteile in verstärktem Maße hybride Bauteile, die neben Dünnfilmstrukturen auch mechanisch mikrobearbeitete Funktionsflächen aufweisen. Vor diesem Hintergrund ist die Erforschung der Möglichkeiten bei der Herstellung von Bauteilen mit hohen Aspektverhältnissen, wie sie bei der Fertigung von keramischen Mikroschwingsensoren erforscht werden, von hervorragender Bedeutung. Im letzten Antragszeitraum steht die Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis aus Werkstoff-Sandwichstrukturen im Vordergrund. Dabei wird als Werkstoffolge Keramik-Glas-Keramik gewählt. Die wissenschaftliche Bedeutung liegt insbesondere darin, wie sich schmale Stege von Werkstoffen mit beträchtlichen Unterschieden im Spanverhalten weitgehend duktil bearbeiten lassen.

Spanish Präzisionsbearbeitungsverfahren kommen in zunehmendem Maße bei der Fertigung von Mikrobauteilen aus Keramik und Silizium zum Einstein. Dabei treten neben die rein spanend hergestellten Mikrobauteile in verstärktem Maße hybrid Bauteile，die neben Dünnfilmstrukturen auch mikrobearbeitete Funktionsflächen aufweisen. Hintergrund是一种具有高精度的Möglichkeiten bei der Herstellung von Bauteilen的Erforschung，就像它bei der Fertigung von keramischen Mikroschwingsensoren erforscht韦尔登，von hervorragender Bedeutung一样。我让我们的中间层在前体中的夹层结构中形成高精度的结构。大北是一个玻璃-玻璃-陶瓷工厂。Die wissenschaftliche Bedeutung liegt insbesondere darin，wie sich schmale斯斯泰格冯Werkstoffen mit beträchtlichen Unterschieden im Spanverhalten weitgehire duktil bearbeaten lassen。