Erforschung und Entwicklung eines hochauflösenden induktiven Messsystems

高分辨率感应测量系统的研发

• 批准号: 5450502
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5450502?language=en
• 关键词: Erforschung; und; Entwicklung; eines; hochaufl

Im ersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung, Entwicklung und dünnfilmtechnische Fertigung eines miniaturisierten, hochauflösenden, induktiven Wegmesssystems auf Basis des Inductosyn®-Prinzips. Bei dem entwickelten Mikromesssystem wurde die Wegmessung wie beim herkömmlichen Inductosyn® mittels eines Mäanderspulenpaares realisiert. Zur Vergrößerung der Kopplung zwischen den Mikrospulen wurden weichmagnetische Flussführungen integriert. Das Ziel bezüglich einer Systemteilung von kleiner 50 μm wurde erreicht, die prinzipielle Brauchbarkeit des Ansatzes wurde in ersten experimentellen Untersuchungen verifiziert. Im zweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowohl die Weiterentwicklung des Mikrosystems als auch der Ansteuerelektronik zu einem Gesamtsystem mit einer Interpolationsgenauigkeit von weniger als 0,1 μm im Vordergrund. Diese Interpolationsgenauigkeit macht das System zu einem Wegmesssensor, der in mikrotechnische Bauteile integriert zur Feinpositionierung sowie zur Positionsmessung von Mikrotischen, Mikroventilen und anderen Mikrobauteilen dienen soll. Der Schwerpunkt beim Mikromesssensor liegt in der Verbesserung des Sensors durch Maßnahmen zur Minimierung der Variation des Luftspalts zwischen Ständer und Läufer. Die erfolgt einerseits durch eine Änderung in der Zuordnung der zwei Sekundärspulen, andererseits durch Entwicklung eines Kugelführungssystems. Im Bereich der Messelektronik erfolgt eine Weiterführung der Arbeiten zur Entwicklung eines höchstauflösenden elektronischen Interpolators zur Auswertung der Maßstabssignale. Diese Aufgabe übernimmt wie im ersten Antragszeitraum im Rahmen eines Unterauftrags die Technisch-Physikalische Bundesanstalt (PTB). Zur Charakterisierung der Leistungsfähigkeit werden laterale Auflösung, Einfluss von Temperaturänderungen sowie Zuverlässigkeit der Messelektronik bei hoher Verfahrgeschwindigkeit untersucht. Ferner soll betrachtet werden, ob die zu entwickelnde Mikrokugelführung den Einfluss von Kippung und Abstandsänderung minimiert.

Im ersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung，Entwicklung und dünnfilmtechnische Fertigung eines planisierten，hochauflösenden，induktiven Wegmesssystems auf Basis des Inductosyn®-Prinzips.在安装的Mikromesssystem中，感应同步器®组件可实现Wegmessung。Zur Vergrößerung der Kopplung zwischen den Mikrospulen wurden weichmagnetische Flussführungen integriert.这是一个由50 μm小口径光纤组成的系统，其原理有待于实验验证。Im zweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowohl die Weiterentwicklung des Mikrosystem als also uch der Ansteuekronik zu einem Gesamtsystem mit einer Interpolationsgenauigkeit von weniger als 0，1 μm im Vordergrund.这种内插技术是一种基于微传感器的系统，用于微传感器、微传感器和微传感器的位置测量。Der Schwerpunkt beim Mikromesssensor liegt in der Verbesserung des Sensors durch Maßnahmen zur Minimierung der Variation des Luftspalts zwischen Ständer und Läufer. Die erfolgt einerseits durch eine Änderung in der Zuordnung der zwei Sekundärspulen，andererseits durch Entwicklung eines Kugelführungssystems. Im Bereich der Messelektronik erfolgt eine Weiterführung der Arbeiten zur Entwicklung eines höchstauflösenden elektronischen Interpolators zur Auswertung der Maßstabssignale.这一增长与联邦技术物理研究所（PTB）的第一次会议一样。对于横向韦尔登的特性，温度的影响会使电子器件的工作效率提高。Ferner soll betrachtet韦尔登，ob die zu entwickelnde Mikrokugelführung den Einfluss von Kippung und Abstandsänderung minimiert.