Erforschung und Entwicklung eines hochauflösenden induktiven Messsystems
高分辨率感应测量系统的研发
基本信息
- 批准号:5450502
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2005
- 资助国家:德国
- 起止时间:2004-12-31 至 2010-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Im ersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung, Entwicklung und dünnfilmtechnische Fertigung eines miniaturisierten, hochauflösenden, induktiven Wegmesssystems auf Basis des Inductosyn®-Prinzips. Bei dem entwickelten Mikromesssystem wurde die Wegmessung wie beim herkömmlichen Inductosyn® mittels eines Mäanderspulenpaares realisiert. Zur Vergrößerung der Kopplung zwischen den Mikrospulen wurden weichmagnetische Flussführungen integriert. Das Ziel bezüglich einer Systemteilung von kleiner 50 μm wurde erreicht, die prinzipielle Brauchbarkeit des Ansatzes wurde in ersten experimentellen Untersuchungen verifiziert. Im zweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowohl die Weiterentwicklung des Mikrosystems als auch der Ansteuerelektronik zu einem Gesamtsystem mit einer Interpolationsgenauigkeit von weniger als 0,1 μm im Vordergrund. Diese Interpolationsgenauigkeit macht das System zu einem Wegmesssensor, der in mikrotechnische Bauteile integriert zur Feinpositionierung sowie zur Positionsmessung von Mikrotischen, Mikroventilen und anderen Mikrobauteilen dienen soll. Der Schwerpunkt beim Mikromesssensor liegt in der Verbesserung des Sensors durch Maßnahmen zur Minimierung der Variation des Luftspalts zwischen Ständer und Läufer. Die erfolgt einerseits durch eine Änderung in der Zuordnung der zwei Sekundärspulen, andererseits durch Entwicklung eines Kugelführungssystems. Im Bereich der Messelektronik erfolgt eine Weiterführung der Arbeiten zur Entwicklung eines höchstauflösenden elektronischen Interpolators zur Auswertung der Maßstabssignale. Diese Aufgabe übernimmt wie im ersten Antragszeitraum im Rahmen eines Unterauftrags die Technisch-Physikalische Bundesanstalt (PTB). Zur Charakterisierung der Leistungsfähigkeit werden laterale Auflösung, Einfluss von Temperaturänderungen sowie Zuverlässigkeit der Messelektronik bei hoher Verfahrgeschwindigkeit untersucht. Ferner soll betrachtet werden, ob die zu entwickelnde Mikrokugelführung den Einfluss von Kippung und Abstandsänderung minimiert.
我是Ersten Abschnitt des Fördervorhabens erfolgte die Erforschung,Entwickung and dünn Film Technische Fertigung eines minataturisierten,hochauflösenden,ven WegMessages Systems auf base des Inductosyn®-print zips。BEI DEM entwickelten MikroMessage System Wurde de WegMessung Wie Bem Herkömlichen Inductosyn®Mittels eines Mäandderspulenpares realisiert.(Be Dm entwickelten MikroMessage System wurde die de WegMessung Wie Bie Herm Herkömlichen Inductosyn®Mittels)您的位置:我也知道>地区>德国。Das Ziel Bezüglich einer Systemteilung von Kleiner 50μm wurde erreicht,die print zipielle Brauchbarkeit des Ansat zes wurde in ersten explentellen en Untersuhungen verifiziert.我是Zweiten Abschnitt des Fördervorhabens stehen sowohl die Weiterentwickung des Mikrosystem Ansteh der Ansteuerelektronik zu einem Gesamtsystem MIT einer Interpolationsgenauigkeit von Veniger ALS 0,1μm m vordergrund.这是一种新型的信息系统,它的传感器、传感器、传感器和传感器等,在Verbeserung Des Sensors Des Sensors De Ma?nahman Zur Minimierung der Variant Des Luftspalts zwitchen Ständer and Läufer中,Der Schwerpenkt bem MikroMessage Sensors Liegt in der Verbeserung des Sensors Dh Ma?nahman zur Minimierung der Variance De Luftspalts zwichen Ständer and Heaveonäufer?它是一种新型的电子设备,也是一种新型的电子设备。我是Bereich der Messelektronik erfolgt eine Weiterführung der arbeiten zur Entwickular eines höchstauflösenden elektronischen Interpolator zur Auswertung der Ma?stdissignale.从拉赫门到拉赫门的德国联邦理工学院(PTB)。他说:“这是一件很重要的事情,因为这件事很重要。”这是一个很小的问题,因为它是最低限度的。
项目成果
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