Micromachining of brittle materials applying ductile mode dicing and profile grinding

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Trenn- und Profilschleifen eignet sich hervorragend zur mechanischen Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe, da es insbesondere bei duktiler Prozeßführung hohe Maßgenauigkeit mit exzellenter Oberflächengüte und Kantenqualität verbindet. Durch laufende Fortschritte bei den als Werkzeuge dienenden Trennschleifblättern sind inzwischen Schnittbreiten kleiner 50 µm möglich. Im Rahmen dieses Vorhabens sollen technologische Untersuchungen zur Fertigung dreidimensionaler Strukturen durchgeführt werden. Die Entwicklung geeigneter Fertigungstechniken erfolgt am Beispiel der Herstellung von Membranen und Säulenstrukturen. Ferner ist die Optimierung der Prozeßführung für ultraschmale Blätter vorgesehen. Die Fortschritte der Arbeit sollen anhand von Demonstratoren dokumentiert werden. Hierzu dienen ein Mikrotaster, bei dem der Taststift auf einer Membran sitzt, und ein thermodynamischer Testkörper mit Mikrokanälen.