Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente

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Im ersten Antragszeitraum war ein als Dehnmesssensor dienender magnetoelastischer Mikrotransformator entwickelt worden. Anhand von Aufbau und Test von ersten Mustern wurde die Brauchbarkeit des Konzeptes nachgewiesen. Allerdings stellte sich die Technologie des gewählten Entwurfes als sehr komplex heraus. Im zweiten Antragszeitraum sollen die Untersuchungen am Mikrotransformator weitergeführt und ausgewertet werden. Der erste Schwerpunkt liegt dabei in einer Verbesserung des Mikrotransformators. Dabei soll einerseits die Anzahl der Maskenschritte verkleinert werden. Andererseits ist zur Vereinfachung der Technologie, wo möglich, ein galvanischer Aufbau angedacht. Ferner soll, unterstützt durch Modellbildung und Simulation, der Wirkungsgrad des Mikrotransformators optimiert werden. Der zweite Schwerpunkt liegt dann in der Erforschung und Optimierung des Zusammenwirkens zwischen magnetoelastischer Funktionsschicht und Gesamtaufbau anhand des vereinfachten Mikrotransformators.