Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente

以感应微元件为例研究和优化软磁薄膜的磁弹性和高频特性

• 批准号: 5116428
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Hans-Heinrich Gatzen
• 金额: --
• 依托单位: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1997-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5116428?language=en
• 关键词: Untersuchung; und; Optimierung; der; magnetoelastischen

Im ersten Antragszeitraum war ein als Dehnmesssensor dienender magnetoelastischer Mikrotransformator entwickelt worden. Anhand von Aufbau und Test von ersten Mustern wurde die Brauchbarkeit des Konzeptes nachgewiesen. Allerdings stellte sich die Technologie des gewählten Entwurfes als sehr komplex heraus. Im zweiten Antragszeitraum sollen die Untersuchungen am Mikrotransformator weitergeführt und ausgewertet werden. Der erste Schwerpunkt liegt dabei in einer Verbesserung des Mikrotransformators. Dabei soll einerseits die Anzahl der Maskenschritte verkleinert werden. Andererseits ist zur Vereinfachung der Technologie, wo möglich, ein galvanischer Aufbau angedacht. Ferner soll, unterstützt durch Modellbildung und Simulation, der Wirkungsgrad des Mikrotransformators optimiert werden. Der zweite Schwerpunkt liegt dann in der Erforschung und Optimierung des Zusammenwirkens zwischen magnetoelastischer Funktionsschicht und Gesamtaufbau anhand des vereinfachten Mikrotransformators.

本文介绍了一种新型磁弹性微变压器的研制与应用。研究方法与检验方法的研究与应用。alldings stellsich technology des gewählten Entwurfes也有复杂的英雄。[3][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][2]。微变压器的光学特性研究。Dabei soleinterseits die Anzahl der Maskenschritte verkleinert werden。Andererseits ist zur Vereinfachung der technology, no möglich, in galvanischer Aufbau angedacht。[2]王志强，王志强，王志强，等。微变压器建模与仿真研究。在此基础上，研究了磁弹性函数和磁弹性函数的优化，并研究了微变换器的优化。