Strukturierungsverfahren für mikro- und nanooptische Elemente in Lithiumniobat.

锂材料是一种特殊的材料，它与美国的产品和服务密切相关。它们都是最好的材料。这是一种新型的纳米结构材料，在材料上不同于传统材料，但不适用于其他材料。在2007-2009年间，这是一种新的技术和技术，以及一种新的技术，一种新的技术和一种新的技术。一个真实的Strukturen，Wie Z.B.Rippenwell enleitern and Phoonischen Kristallen in freitragenden Membren，Wurden die groüen Potentiale des Verfahrens gezeig.Die Zielstellung des Fortsetzungsprojektes ist die Methodische Klärung wichTiger offener Frasterellungen，die Universal alität，Reproduzierbarkeit Sowie die Praktikablität der Methode einschränken.这是一家铁粉厂的第二家工厂。在Punkfefkten Sowie Defektwellenleitern demstriert Den的照片中，我们发现了一种新的方法--Beispiel和Nexhtline。

Lithiumniobat ist ein Material das außerordentlich interessante Eigenschaften besitzt und deshalb u.a. für die integrierte und nichtlineare Optik eine große Bedeutung hat. Mikro- und Nanostrukturen konnten in diesem Material mangels geeigneter Strukturierungsverfahren bislang nur ungenügend oder gar nicht realisiert werden. Innerhalb der zurückliegenden Förderperiode 2007-2009 ist es uns gelungen, eine Technologie grundlegend zu entwickeln, welche mittels maskierter Ionenbestrahlung und nachfolgendem nasschemischem Ätzen die Herstellung von dreidimensionalen, qualitativ hochwertigen Mikro- und Nanostrukturen in Lithiumniobat gestattet. An realen Strukturen, wie z.B. Rippenwellenleitern und photonischen Kristallen in freitragenden Membranen, wurden die großen Potentiale des Verfahrens gezeigt.Die Zielstellung des Fortsetzungsprojektes ist die methodische Klärung wichtiger offener Fragestellungen, die die Universalität, Reproduzierbarkeit sowie die Praktikabilität der Methode einschränken. Insbesondere ist die Erweiterung der erreichbaren Tiefen geplant. Die Leistungsfähigkeit der Methode soll am Beispiel der nichtlinearen Interaktion lokalisierter Felder in photonischen Kristallen mit Punkdefekten sowie Defektwellenleitern demonstriert werden.