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Multiphysics simulation of electron beam nanoprocess

Multiphysics simulation of electron beam nanoprocess
电子束纳米过程的多物理场模拟
批准号：
25249052
负责人：
YASUDA Masaaki
金额：
$29.2万
依托单位：
Osaka Prefecture University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-05-31 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25249052/
关键词：
電子ビームナノプロセスマルチフィジックス分子動力学モンテカルロ法計算物理分子動力学法

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電子線リソグラフィのマルチフィジックスシミュレーション
电子束光刻的多物理场模拟
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [岡部謙志, 秋田一平, 石田誠, 道下勝司，安田雅昭，川田博昭，平井義彦]
通讯作者： 道下勝司，安田雅昭，川田博昭，平井義彦
Simulation of fogging electron trajectories in Scanning Electron Microscope
扫描电子显微镜中雾化电子轨迹的模拟
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [J. W. Liu, M. Y. Liao, M. Imura, and Y. Koide, T. Nishino and M. Kotera]
通讯作者： T. Nishino and M. Kotera
Electron Irradiation Effects on Atomic Scale Mechanics of Carbon Nanotubes: Molecular Dynamics Study
电子辐照对碳纳米管原子尺度力学的影响：分子动力学研究
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： [Kazuhiro Tada, Masaaki Yasuda, Hiroaki Kawata and Yoshihiko Hirai]
通讯作者： Hiroaki Kawata and Yoshihiko Hirai
Molecular Dynamics Study of Electron Irradiation Effects on Nanomechanical Properties of Graphene
电子辐照对石墨烯纳米力学性能影响的分子动力学研究
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： [Kazuhiro Tada, Masaaki Yasuda, Ryosuke Taneda, Hiroaki Kawata and Yoshihiko Hirai]
通讯作者： Hiroaki Kawata and Yoshihiko Hirai
共 89 条
    Molecular simulation of pattern formation in electron beam lithography
    • 批准号：
      23656245
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YASUDA Masaaki
    • 依托单位：
      Osaka Prefecture University
    Theoretical Study on Structure Control of Carbon Nanomaterialswith Electron Beam
    • 批准号：
      22360145
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.06万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      YASUDA Masaaki
    • 依托单位：
      Osaka Prefecture University
    Dynamics of nanomaterials in electron beam processing
    • 批准号：
      18560341
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.35万
    • 财政年份：
      2006
    • 负责人：
      YASUDA Masaaki
    • 依托单位：
      Osaka Prefecture University
    Studies on Ripenin Mechanisms of a Novel Fermented Food Prepared with Soybean Protein Gel
    • 批准号：
      04660148
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.34万
    • 财政年份：
      1992
    • 负责人：
      YASUDA Masaaki
    • 依托单位：
      University of the Ryukyus
    海外基金