Entwurf und Realisierung hochfrequenter, miniaturisierter chemischer Quartz-Crystal-Microbalance / (QCM)-Sensoren sowie eines QCM-Sensorarrays für die Gas- und Flüssigkeitsanalytik

在这一点上，我们将继续努力，使我们能够更好地利用这些资源。在这一过程中，我不知道你的名字是什么，我不知道你的名字是什么。我是Zweiten Projektjahr Sollen sich die arbeiten auf refreduzierbare Herstellung von sentitiven Schichten and die Charakterisierung dieser ALS Chemische Sensoren arbeitenden EinzelQuarzResonatoren konzentrieren.Sie Sollen zunächst in der Gas-and Flüssigkets analytik eingesetzt.在此之前，我们不会因此而感到不快，也不会因此而失望。Im Dritten Jahr Sollen Schlie？lich die gewonnenen Erkenntnisse zur Möglichkeit der Verkleinung der Resonatoren der Ihre Monolithische集成auf einem beatat genutzt den.因此，这将是最好的分析方法。Neue AnwendungsFelder，Z.B.in der Mikrosystem Technik oder Mikroreaktionstechnik en ermöglicht，and mini aturisierte QCM-Module könnnen Preiswert hersterellt den.

Zentrale Fragestellung dieses Projektes ist, welche Vor- und Nachteile sich aus der Erhöhung der Resonanzfrequenz auf die Eigenschaften von Quarzresonatoren als chemische Sensoren ergeben. In den ersten Monaten der Projektbearbeitung wurde ein Prozess entwickelt, der die Herstellung von Quarzresonatoren mit hohen Frequenzen, ausreichender Güte und guter Trennung der Nebenresonanzen erlaubt. Im zweiten Projektjahr sollen sich die Arbeiten auf die reproduzierbare Herstellung von sensitiven Schichten und die Charakterisierung dieser als chemische Sensoren arbeitenden Einzelquarzresonatoren konzentrieren. Sie sollen zunächst in der Gas- und Flüssigkeitsanalytik eingesetzt werden. Durch die Erhöhung der Resonanzfrequenz wird insbesondere eine Steigerung der Empfindlichkeit und eine Reduzierung der Nachweisgrenze angestrebt. Im dritten Jahr sollen schließlich die gewonnenen Erkenntnisse zur Möglichkeit der Verkleinerung der Resonatoren und ihre monolithische Integration auf einem Substrat genutzt werden. So wird sich beispielsweise das erforderliche Analysevolumen verringern lassen. Neue Anwendungsfelder, z.B. in der Mikrosystemtechnik oder der Mikroreaktionstechnik werden ermöglicht, und miniaturisierte QCM-Module können preiswert hergestellt werden.