课题基金 / 基金详情

CAREER: Ultra-Thin Oxides on Silicon and Thin Silicon Wafer Bonding

CAREER: Ultra-Thin Oxides on Silicon and Thin Silicon Wafer Bonding
职业：硅上超薄氧化物和薄硅晶圆键合
批准号：
9624798
负责人：
Kenneth Farmer
金额：
$25.0万
依托单位：
New Jersey Institute of Technology
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1996
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1996-06-01 至 2002-05-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9624798&HistoricalAwards=false
关键词：
CAREERUltraThinOxidesSilicon

项目摘要

项目成果

Kenneth Farmer的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
9624798 Farmer The CAREER award treats ultra-thin oxides on silicon and ultra-thin wafer bonding. The former is for the scaling of the CMOS technology in silicon-based microelectronics, while ultra-thin wafer bonding is applicable to Silicon on Insulator (SOI) technology. Ultra-thin oxides less than 3.4 nm and nitrided oxides will be investigated during the program. The educational program concentrates on a computer-assisted laboratory. ***
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Acquisition of Instrumentation for Deep Reactive Ion Etching of Ultra-Thin Bonded Wafers
  • 批准号：
    9871272
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $46.74万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    Kenneth Farmer
  • 依托单位：
    New Jersey Institute of Technology
Acquisition of Instrumentation for Research and Development of Bonded Ultra Thin Silicon Wafers
  • 批准号：
    9601937
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $20.26万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    Kenneth Farmer
  • 依托单位：
    New Jersey Institute of Technology
Ultra-Thin Silicon Wafer Bonding
  • 批准号：
    9529616
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $3.5万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    Kenneth Farmer
  • 依托单位：
    New Jersey Institute of Technology
Tunneling Measurements for Electro-Structural Analysis of Ultra-thin Dielectrics on Silicon
  • 批准号：
    9313937
  • 项目类别：
    Continuing grant
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    1993
  • 负责人：
    Kenneth Farmer
  • 依托单位：
    New Jersey Institute of Technology
国内基金
海外基金
磷脂酶Ultra特异性催化油脂体系中微量磷脂分子的调控机制研究
  • 批准号：
    31471690
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    90.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    王永华
  • 依托单位：
    华南理工大学
适应纳米尺度CMOS集成电路DFM的ULTRA模型完善和偏差模拟技术研究
  • 批准号：
    60976066
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    41.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    何进
  • 依托单位：
    北京大学