Herstellung und Charakterisierung von Volumenkristallen aus der Mischkristallreihe (AIN)x(SiC)1-x

混合晶体系列 (AIN)x(SiC)1-x 体积晶体的生产和表征

• 批准号: 114687075
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Matthias Bickermann
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/114687075?language=en
• 关键词: Herstellung; und; Charakterisierung; von; Volumenkristallen

Mischkristalle der Reihe (AlN)x(SiC)1–x verbinden die in der Opto- und Leistungselektronik wichtigen Materialien AlN und SiC und besitzen eine Reihe interessanter Eigenschaften als Halbleiter großer Bandlücke. Bisher ist es nicht gelungen, entsprechende Volumeneinkristalle herzustellen, da die beiden wichtigsten Voraussetzungen, Materialkompatibilität bei der Gasphasenzüchtung bei über 2000°C und effektive Kontrolle der Segregation, in ihrer Umsetzung technologisch sehr anspruchsvoll sind. Die Verwendung von nahezu dicht gesinterten Tiegeln aus Tantalkarbid sowie die jahrelange Erfahrung in der Hochtemperatur-Kristallzüchtung von SiC und AlN eröffnen nun die Möglichkeit, ausgehend von der Züchtung von AlN mittels Gasphasentransport von AlN-SiC-Pulvermischungen einen stabilen Prozess zur Herstellung von (AlN)x(SiC)1–x- Volumenkristallen zu entwickeln, auszubauen und schließlich die Anwendbarkeit als Substrat für nitridische Halbleiter zu untersuchen.

混杂的AlN(AlN)x(SIC)1-x Verbinded De in der Opto-und Leistungselektronik Wichtigen Materiallen AlN and Sic and be itzen eine eine Interessanter Eigenschaften ALS Halbleiter groçer Bandlücke.在较高的技术条件下，这些设备必须在2000°C的温度和有效的隔离条件下，才能与其他材料兼容。在德国-克里斯滕省-克里斯滕省-克里斯特尔茨州和阿尔纳夫宁省，所有的国家和地区都是这样的国家和地区，这些国家和地区都有自己的国家和地区，这些国家和地区都有自己的国家和地区。

项目成果

Growth of AlN bulk crystals on SiC seeds: Chemical analysis and crystal properties

• DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2011.11.043
• 发表时间: 2012-01
• 期刊: Journal of Crystal Growth
• 影响因子: 1.8
• 作者: M. Bickermann;O. Filip;B. Epelbaum;P. Heimann;M. Feneberg;B. Neuschl;K. Thonke;Elke Wedler;A. Winnacker