Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern

“高频- mems结构研究”，“滤波器谐振器研究”，“高频- mems结构研究”，“高频- mems结构研究”，“高频- mems技术研究”。因此，索伦“缺陷地面结构”在合作与konkurrierenden动力学中的应用。研究方向：新元件结构与非结构，几何几何，MEMS-Schaltern, realisient and untersucht werden，研究方向：räumlich kleine， verlustarme谐振器结构与高频滤波器结构与非结构。在Rahmen des vorgeschlagenen forschungsvohabens sollen Methoden entwickelt and untersucht werden， die es ermöglichen, zuverlässige HF-Filterstrukturen herzustellen, deren Hilfe sowohl dämpfungsarme durchlesberiche als auch kontrolliberbare sperberiche realisierwerden können。大贝werden verschiedene高频滤波理论，模具kopplungstheory和模具常规，mikrowellen - netzwerk合成，<s:2>模具仿真研究。平行研究：neuue HF-MEMS-Schalter mit niedriger Betätigungsspannung， hohem HF-Leistungsvermögen and hoher Lebensdauer entworfen, simulliert and in d<s:1> nnschicht- mems - technology cmos - comppatibel realisiert werden。Die Charakteristiken von koplanaren and microstreifen - leitungen, Die auf silizum substrate aufgebracht sind, sollen mittel MEMS technology maßgeblich verbessert werden。In diesem Zusammenhang and die zur Herstellung der hf - struckturen, forderlichen, nnschicht- mems - prozesse zu entwickelen, and hand der erzielten Ergebnisse zu optimien。

Das Ziel des hier vorgeschlagenen Projekts sind Entwurf, Optimierung, Herstellung und messtechnische Charakterisierung von abstimmbaren HF-MEMS Strukturen, wie Filter oder Resonatoren, mit Hilfe der Dünnschicht-MEMS-Technologie. So sollen „Defected Ground Structures“ in kooperativen und konkurrierenden dynamischen Umgebungen entwickelt werden. Derartige neue Bauelementstrukturen kompakter Geometrie sollen unter Verwendung von MEMS-Schaltern realisiert und untersucht werden, um so räumlich kleine, verlustarme Resonatoren herzustellen und in HF-Filterstrukturen anzuwenden.Im Rahmen des vorgeschlagenen Forschungsvorhabens sollen Methoden entwickelt und untersucht werden, die es ermöglichen, zuverlässige HF-Filterstrukturen herzustellen, mit deren Hilfe sowohl dämpfungsarme Durchlassbereiche als auch kontrollierbare Sperrbereiche realisiert werden können. Dabei werden verschiedene HF-Filtertheorien, wie die Kopplungstheorie und die konventionelle Mikrowellen-Netzwerksynthese, für die Simulation eingesetzt. Parallel dazu sollen auch neue HF-MEMS-Schalter mit niedriger Betätigungsspannung, hohem HF-Leistungsvermögen und hoher Lebensdauer entworfen, simuliert und in Dünnschicht-MEMS-Technologie CMOS-kompatibel realisiert werden. Die Charakteristiken von koplanaren und Mikrostreifen-Leitungen, die auf Siliziumsubstraten aufgebracht sind, sollen mittels MEMS Technologie maßgeblich verbessert werden.In diesem Zusammenhang sind die zur Herstellung der HF-Strukturen erforderlichen Dünnschicht-MEMS-Prozesse zu entwickeln und anhand der erzielten Ergebnisse zu optimieren.