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Multilayer Piezoelectric/Diamond SAW Devices
多层压电/金刚石声表面波器件
基本信息
- 批准号：0139712
- 负责人：
- 金额：$ 8万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：2002
- 资助国家：美国
- 起止时间：2002-10-01 至 2005-09-30
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The object of this proposal is to demonstrate the feasibility of depositing diamonds on the piezoelectric films and show that films have either large grain size or they are single crystalline. The films will be tested and characterized for future SAW device research work.
这项建议的目的是证明在压电薄膜上沉积金刚石的可行性，并表明薄膜要么具有大的颗粒尺寸，要么是单晶的。这些薄膜将为未来的声表面波器件研究工作进行测试和表征。
项目成果
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专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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