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Entwicklung und Erprobung eines optimierten Al-Manteldrahtes mit unterschiedlichen Gefügeeigenschaften zum Ultraschall-Wedge/Wedge-Bonden

Entwicklung und Erprobung eines optimierten Al-Manteldrahtes mit unterschiedlichen Gefügeeigenschaften zum Ultraschall-Wedge/Wedge-Bonden
用于超声波楔/楔键合的具有不同结构特性的优化铝护套线的开发和测试
批准号:
161046411
负责人:
Professorin Dr.-Ing. Ute Geißler
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants (Transfer Project)
财政年份:
2010
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2009-12-31 至 2012-12-31

项目摘要

项目成果

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Wire-Bonding ist und wird auch zukünftig bei weiterer Miniaturisierung eines der wesentlichen Kontaktierverfahren des Electronic Packaging bleiben. Die Anforderungen, die an einen Bondkontakt gestellt werden, nämlich gute Interfacefestigkeit auf der einen Seite und ein möglichst wenig vorgeschädigter Heelbereich auf der anderen Seite stehen sich kontrovers gegenüber. Eine hohe Drahtdeformation unter Wirkung der Bondparameter führt zu einer guten Flächenanpassung der Fügepartner und damit zu einer guten Verschweißung im Interfacebereich. Gleichzeitig bewirkt jedoch eine hohe Deformation unvermeidlich eine unerwünschte starke mechanische Schwächung des Heelbereiches der Bondverbindung, die zu einem vorzeitigen Ausfall des elektrischen Kontaktes im Feld führen kann. Die aus der Analyse der mikro- und nanostrukturellen Vorgänge im Bondkontakt während des Ultraschall-Wedge/Wedge-Bondens von AlSi1 Draht gewonnenen Erkenntnisse ermöglichen nun die Entwicklung eines neuen optimierten Bonddrahtes auf Aluminium-Basis [1]. Dieser Draht soll als Manteldraht so gestaltet werden, so dass beim Drahtbondprozess sowohl eine geringe Heelschwächung als auch eine gute Adaption der Bondpartner am Interface und damit eine gute Verschweißung (hohe Interfacefestigkeit) möglich werden.
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Aluminium-Scandium as bondpad chipmetallisation for copper wire bonding
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