SBIR Phase I: Photon Enhanced SEM Platform for Nano-Manufacturing

SBIR 第一阶段：用于纳米制造的光子增强 SEM 平台

• 批准号: 0839497
• 负责人: Thomas Moore
• 金额: $ 10万
• 依托单位: Omniprobe
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 2009-01-01 至 2009-06-30
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=0839497&HistoricalAwards=false
• 关键词: SBIR; Phase; Photon; Enhanced; SEM

This Small Business Innovation Research Phase I project will demonstrate the scientific and technical feasibility of introducing optical processing into conventional scanning electron microscopes (SEM). The addition of localized and site specific high photon flux offers the opportunity to enable a variety of novel patterned materials processing options in these tools, including enhanced deposition and etch processes at the nanometer scale.The broader impact of this project opens up a broad array of new applications in areas such as biology, medicine and nanotechnology.

这个小型企业创新研究第一阶段项目将展示将光学处理引入传统扫描电子显微镜（SEM）的科学和技术可行性。局部和特定位置的高光子通量的增加提供了在这些工具中实现各种新型图案材料加工选择的机会，包括纳米尺度上增强的沉积和蚀刻工艺。这个项目的广泛影响在生物学、医学和纳米技术等领域开辟了一系列广泛的新应用。