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Charakterisierung der Wechselwirkung von AFM-Sonden an stark geneigten Oberflächen bei Oszillationsmodus-AFM zur quantitativen Bestimmung dimensioneller Parameter von Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis

在振荡模式 AFM 中表征 AFM 探针在高度倾斜表面上的相互作用，以量化高纵横比纳米结构的尺寸参数

基本信息

批准号：
200477703
负责人：
Dr. Dorothee Hüser
金额：
--
依托单位：
Fachbereich 5.2 - Dimensionelle Nanometrologie
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2011
资助国家：
德国
起止时间：
2010-12-31 至 2014-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/200477703?language=en
关键词：
Charakterisierung der Wechselwirkung von AFM

项目摘要

Im Laufe des letzten Jahrzehnts ist es zu einer signifikanten Zunahme vielfältiger Anwendungsgebiete für die Nanotechnologie gekommen. Die Erfordernisse dort verlangen nach einer entsprechend größeren Genauigkeit bei der Bestimmung von Strukturgrößen. Atomkraftmikrosope (AFM) messen in unmittelbarer Nähe von Oberflächen und werden deshalb zum Erfassen von Topographiedaten eingesetzt, häufig auch zur unabhängigen Verifizierung von optischen oder elektronenoptischen Messverfahren. Durch AFM gewonnene Profillinen ergeben sich aus der Faltung der Topographie mit der Form der Spitze der Messsonde. Bei Strukturen mit hohem Aspektverhältnis ändern sich die Wechselwirkungsverhältnisse für Messpunkte an verschiedenen Kantenpositionen signifikant. Die gemessenen Profillinien werden deshalb durch die Unterschiede im Wechselwirkungsverhalten in Abhängigkeit von den veränderlichen geometrischen Bedingungen beeinflusst. Ziel dieses Projektes ist es, unterschiedliche Wechselwirkungscharakteristiken für die verschiedenen Positionen an Nanostrukturkanten zu untersuchen, um auf die Oberflächenposition extrapolieren zu können. Um dieses Ziel zu erreichen, soll bei AFM im Oszillationsmodus das gesamte Antwortverhalten des Cantilevers in der Wechselwirkung ermittelt werden. Dazu gehört es, die einzelnen physikalischen Einflüsse zu verstehen und zu modellieren (Effekte durch atmosphärische Umgebung, interatomare Kräfte bei verschiedenen geometrischen Verhältnissen, etc.). Die hierfür durchzuführenden Messungen sollen nicht mittels scannender Methoden sondern durch Einzelpunktantastung erfolgen.

我是Laufe des letzten Jahrzehnts is es zu einer signikanten Zunahme vielfälTiger Anwendungsgebiete für die Nano Technology gie gekomman。他说：“这是一件非常重要的事情。”原子力显微镜(AFM)是一种新的信息传递方式，它是一种新型的信息传递方式，它是一种信息传递方式。用原子力显微镜观察地形图和信息的形式。他说：“这是一件非常重要的事情。”在我们的世界里，所有的一切都发生了变化，因为它们的几何风险很大。他说：“这是一件很重要的事情，我们不能把它们放在一起，也不要把它们放在一起。在我们的世界里，所有的悬臂梁都是这样的。Dazu gehört es，die einzelnen Physikalischen Einflüsse zu verstehen and zu Model lieren(Effekte duch atmosphäRische Umgebung，intertom are Kräfte be verschiedengerischen verhältnissen等)。您的位置：我也知道>教育/科学>教育/职业教育/职业教育/教育/教育。