SHF: SMALL: GOALI: Design for Manufacturability in Extreme Scaling with Emerging Nanolithography

SHF:小型:GOALI:利用新兴纳米光刻技术实现极限缩放的可制造性设计

基本信息

  • 批准号:
    1218906
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 36万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    2012-07-01 至 2017-06-30
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Advancing lithography patterning, which enables feature size scaling, has been a holy grail for the semiconductor industry. There are several leading nanolithography technologies for 14nm, 11nm, 7nm and 1x nm for extreme scaling, including multiple patterning lithography (MPL), extreme ultraviolet lithography (EUVL) and e-beam lithography (EBL). This project aims at developing novel design for manufacturability algorithms, tools, and methodologies for nanometer integrated circuits (IC) manufactured through these emerging nanolithography technologies. The proposed research will synergistically link nanolithography process modeling/abstraction with multi-scale layout optimization. For MPL, robust and scalable multi-objective layout decomposition algorithms and MPL-aware physical design tools will be developed. For next-generation nanolithography such as EUVL and EBL, new design and process integration issues will be studied. Hybrid nanolithography (e.g., combining MPL with EBL) will also be explored to shed light on ultimate nano-patterning for future IC layout design. The proposed solutions will span multiple technology layers and bring together experts from both academia and industry.This proposed project addresses fundamental challenges to bridge the gap between IC design and manufacturing in extreme scaling. Thus its potential impacts to the semiconductor industry and associated information and high-tech industries cannot be overstated. The academia-industry collaboration between University of Texas and IBM promises innovative and high-risk academia research coupled with realistic industry data/benchmarks and timely technology transfer through IBM and its global partners to benefit the overall industry. The highly interdisciplinary nature of this research will be tightly integrated into a variety of curriculum development and diverse student mentoring programs.
使特征尺寸能够缩放的先进光刻图案化一直是半导体工业的圣杯。 有几种领先的纳米光刻技术可用于14纳米、11纳米、7纳米和1x纳米的极端尺寸,包括多重图案化光刻(MPL)、极紫外光刻(EUVL)和电子束光刻(EBL)。该项目旨在开发新的设计可制造性算法,工具和方法,通过这些新兴的纳米光刻技术制造纳米集成电路(IC)。拟议的研究将协同链接纳米光刻工艺建模/抽象与多尺度布局优化。对于MPL,将开发鲁棒性和可扩展的多目标布局分解算法和支持MPL的物理设计工具。 对于下一代纳米光刻技术,如EUVL和EBL,将研究新的设计和工艺集成问题。混合纳米光刻(例如,结合MPL与EBL)也将被探索,以揭示未来IC布局设计的最终纳米图案化。拟议的解决方案将跨越多个技术层面,汇集学术界和工业界的专家。这个拟议的项目解决了在极端规模下弥合IC设计和制造之间差距的根本挑战。因此,它对半导体工业以及相关的信息和高科技工业的潜在影响不能被夸大。德克萨斯大学和IBM之间的合作承诺创新和高风险的学术研究,加上现实的行业数据/基准,并通过IBM及其全球合作伙伴及时进行技术转让,以使整个行业受益。这项研究的高度跨学科性质将紧密结合到各种课程开发和多样化的学生辅导计划中。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

David Pan其他文献

TOP-101 - Identification of liver-associated gene signatures from serum exosomes in patients with chronic hepatitis B
  • DOI:
    10.1016/s0168-8278(23)03152-5
  • 发表时间:
    2023-06-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Mario Cortese;Liao Zhang;David Pan;Jeffrey Wallin;Bryan Downie
  • 通讯作者:
    Bryan Downie
SAT376 - Decrease in the burden of integrated hepatitis B virus DNA in chronic hepatitis B patients with minimally elevated alanine aminotransferase on tenofovir disoproxil fumarate as revealed by long-read DNA-sequencing
SAT376 - 长读长 DNA 测序揭示富马酸替诺福韦二吡呋酯治疗丙氨酸氨基转移酶轻度升高的慢性乙型肝炎患者整合型乙型肝炎病毒 DNA 负担降低
  • DOI:
    10.1016/s0168-8278(22)01978-x
  • 发表时间:
    2022-07-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    33.000
  • 作者:
    David Pan;Cameron Soulette;Dong Han;Ricardo Ramirez;Nicholas Van Buuren;Jaw-Town Lin;Cheng-Hao Tseng;Li Li;Simon Fletcher;Hongmei Mo;Becket Feierbach;Vithika Suri;Yao-Chun Hsu
  • 通讯作者:
    Yao-Chun Hsu
On the complexity and accuracy of motion estimation using Lie operators
关于使用Lie算子的运动估计的复杂性和准确性
2102 PROSTATE-SPECIFIC ANTIGEN KINETICS AND BIOPSY PROGRESSION IN PATIENTS MANAGED BY ACTIVE SURVEILLANCE
  • DOI:
    10.1016/j.juro.2012.02.2270
  • 发表时间:
    2012-04-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
  • 作者:
    Viacheslav Iremashvili;Murugesan Manoharan;Soum Lokeshwar;Daniel L. Rosenber;David Pan;Mark S. Soloway
  • 通讯作者:
    Mark S. Soloway
Fixed Drug Eruption of the Penis Secondary to Sulfamethoxazole-Trimethoprim
继发于磺胺甲恶唑-甲氧苄啶的阴茎固定药疹
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    N. Lawrentschuk;David Pan;A. Troy
  • 通讯作者:
    A. Troy

David Pan的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('David Pan', 18)}}的其他基金

Collaborative Research: SaTC: CORE: Medium: Security and Robustness for Intermittent Computing Using Cross-Layer Post-CMOS Approaches
协作研究:SaTC:CORE:中:使用跨层后 CMOS 方法的间歇计算的安全性和鲁棒性
  • 批准号:
    2303116
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
SHF: Medium: Integrating Human and Machine Intelligence for Next Generation Interactive Analog IC Design
SHF:媒介:集成人类和机器智能以实现下一代交互式模拟 IC 设计
  • 批准号:
    1704758
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
SHF: Small: Design/Technology Co-Optimization and Exploration in Emerging Scaling
SHF:小型:新兴扩展中的设计/技术协同优化和探索
  • 批准号:
    1718570
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Collaborative Research: From High-level Synthesis to Layout: a Cross-layer Methodology for Large-scale Reliable IC Design
协作研究:从高级综合到布局:大规模可靠IC设计的跨层方法
  • 批准号:
    1255816
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Continuing Grant
SHF: Small: Collaborative Research: Design for Manufacturability for 3D ICs with Through Silicon Vias
SHF:小型:协作研究:具有硅通孔的 3D IC 的可制造性设计
  • 批准号:
    1018750
  • 财政年份:
    2010
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
CAREER: A Synergistic CAD Framework for Nanometer Design and Process Integration
职业生涯:用于纳米设计和工艺集成的协同 CAD 框架
  • 批准号:
    0644316
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Continuing Grant

相似国自然基金

昼夜节律性small RNA在血斑形成时间推断中的法医学应用研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2024
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
tRNA-derived small RNA上调YBX1/CCL5通路参与硼替佐米诱导慢性疼痛的机制研究
  • 批准号:
    n/a
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    10.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
Small RNA调控I-F型CRISPR-Cas适应性免疫性的应答及分子机制
  • 批准号:
    32000033
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    24.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
Small RNAs调控解淀粉芽胞杆菌FZB42生防功能的机制研究
  • 批准号:
    31972324
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    58.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
变异链球菌small RNAs连接LuxS密度感应与生物膜形成的机制研究
  • 批准号:
    81900988
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    21.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
肠道细菌关键small RNAs在克罗恩病发生发展中的功能和作用机制
  • 批准号:
    31870821
  • 批准年份:
    2018
  • 资助金额:
    56.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
基于small RNA 测序技术解析鸽分泌鸽乳的分子机制
  • 批准号:
    31802058
  • 批准年份:
    2018
  • 资助金额:
    26.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
Small RNA介导的DNA甲基化调控的水稻草矮病毒致病机制
  • 批准号:
    31772128
  • 批准年份:
    2017
  • 资助金额:
    60.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
基于small RNA-seq的针灸治疗桥本甲状腺炎的免疫调控机制研究
  • 批准号:
    81704176
  • 批准年份:
    2017
  • 资助金额:
    20.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
水稻OsSGS3与OsHEN1调控small RNAs合成及其对抗病性的调节
  • 批准号:
    91640114
  • 批准年份:
    2016
  • 资助金额:
    85.0 万元
  • 项目类别:
    重大研究计划

相似海外基金

SaTC: CORE: Small: GOALI: Predicting and Labeling Email Phishing from Social Influence Cues and User Characteristics.
SaTC:核心:小:GOALI:根据社会影响线索和用户特征预测和标记电子邮件网络钓鱼。
  • 批准号:
    2028734
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SaTC: CORE: Small: Collaborative: GOALI: Detecting and Reconstructing Network Anomalies and Intrusions in Heavy Duty Vehicles
SaTC:核心:小型:协作:GOALI:检测和重建重型车辆中的网络异常和入侵
  • 批准号:
    1951224
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SaTC: CORE: Small: Collaborative: GOALI: Detecting and Reconstructing Network Anomalies and Intrusions in Heavy Duty Vehicles
SaTC:核心:小型:协作:GOALI:检测和重建重型车辆中的网络异常和入侵
  • 批准号:
    1715409
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SaTC: CORE: Small: Collaborative: GOALI: Detecting and Reconstructing Network Anomalies and Intrusions in Heavy Duty Vehicles
SaTC:核心:小型:协作:GOALI:检测和重建重型车辆中的网络异常和入侵
  • 批准号:
    1715458
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SHF: Small: Collaborative Research: GOALI: Multiscale CAD Framework of Atomically Thin Transistors for Flexible Electronic System Applications
SHF:小型:协作研究:GOALI:用于灵活电子系统应用的原子薄晶体管的多尺度 CAD 框架
  • 批准号:
    1618762
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SHF: Small: Collaborative Research: GOALI: Multiscale CAD Framework of Atomically Thin Transistors for Flexible Electronic System Applications
SHF:小型:协作研究:GOALI:用于灵活电子系统应用的原子薄晶体管的多尺度 CAD 框架
  • 批准号:
    1618038
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SHF: Small: GOALI: Advanced Physical Inspection of Counterfeit Integrated Circuits
SHF:小型:GOALI:假冒集成电路的高级物理检测
  • 批准号:
    1559772
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SHF: Small: GOALI: Advanced Physical Inspection of Counterfeit Integrated Circuits
SHF:小型:GOALI:假冒集成电路的高级物理检测
  • 批准号:
    1423282
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
NeTS: Small: GOALI: Information Centric Networking on Wheels (IC NoW) - Architecture and Protocols
NeTS:小型:GOALI:车轮上的信息中心网络 (IC Now) - 架构和协议
  • 批准号:
    1217260
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
SHF: Small: GOALI: Addressing the Challenges of Parameter Variation in the Design of Ultra-Low Power Chip Multiprocessors Using Near-Threshold Technology
SHF:小型:GOALI:利用近阈值技术解决超低功耗芯片多处理器设计中参数变化的挑战
  • 批准号:
    1117799
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 36万
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了