Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit Lithographie

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„Alle aktuell in Mainz laufenden Forschungsprojekte basieren auf der Möglichkeit, hochqualitative Proben auf der Nanometerskala herzustellen. Unverzichtbar für die physikalischen Untersuchungen von allen zentralen Eigenschaften sind die Transportmessungen, wofür generell nanostrukturierte Proben nötig sind. Außerdem erlaubt oft erst die Nanostrukturierung, bestimmte Eigenschaften, wie z.B. quantisierten Transport, geometrisch-eingeschränkte Spinkonfigurationen u. ä. zu untersuchen. Zudem skalieren einige Effekte invers zur Strukturgröße, wie z.B. das Signal von magnetoresistiven Sensoren, oder charakteristische physikalische Längenskalen sind sehr klein, wie z.B. die Spindiffusionslänge, und erfordern entsprechend kleine Strukturen. Eine state-of-the-art Nanofabrikation, bestehend aus Elektronenstrahl- und lonenstrahllithographie und Argon lonenätzen, ist daher essentiell für den weiteren Erfolg der Projekte."