High-performance and high-reliability diamond MEMS: fundamental and magnetic sensing application

高性能、高可靠性金刚石MEMS：基础和磁传感应用

• 批准号: 20H02212
• 负责人: LIAO Meiyong
• 金额: $ 11.4万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02212/
• 关键词: ダイヤモンド; MEMS; 磁気センサー; 磁気センサ; 高温

项目成果

Self-Temperature-Compensated GaN MEMS Resonators through Strain Engineering up to 600 K.

通过高达 600 K 的应变工程实现自温度补偿 GaN MEMS 谐振器。

• 发表时间: 2020
• 作者: SANG;Liwen;サン フアンイン;Xuelin Yang;Tiefu Li;Bo Shen;LIAO;Meiyong
• 通讯作者: Meiyong

Enhancement of magnetic sensing performance of diamond resonators coupling with magnetic-strictive FeGa films by various interlayers

• DOI: 10.1016/j.carbon.2022.08.086
• 发表时间: 2022-09
• 期刊: Carbon
• 影响因子: 10.9
• 作者: Zilong Zhang;L. Sang;Jian Huang;Linjun Wang;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao

On‐chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film

• DOI: 10.1002/adfm.202300805
• 发表时间: 2023-03
• 期刊: Advanced Functional Materials
• 影响因子: 19
• 作者: Zilong Zhang;Wen Zhao;Guo Chen;M. Toda;S. Koizumi;Y. Koide;M. Liao

Integrated TbDyFe Film on a Single‐Crystal Diamond Microelectromechanical Resonator for Magnetic Sensing

• DOI: 10.1002/pssr.202100352
• 发表时间: 2021-07
• 期刊: physica status solidi (RRL) – Rapid Research Letters
• 作者: Xiulin Shen;Huanying Sun;L. Sang;M. Imura;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao

Three-dimensional Raman analysis of single crystal diamond cantilevers.

单晶金刚石悬臂梁的三维拉曼分析。

• 发表时间: 2021
• 作者: シェン シウリン;市川 公善;Zhaohui Huang;小出 康夫;井村 将隆;小泉 聡;廖 梅勇.
• 通讯作者: 廖 梅勇.