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High-performance and high-reliability diamond MEMS: fundamental and magnetic sensing application

High-performance and high-reliability diamond MEMS: fundamental and magnetic sensing application
高性能、高可靠性金刚石MEMS：基础和磁传感应用
批准号：
20H02212
负责人：
LIAO Meiyong
金额：
$11.4万
依托单位：
National Institute for Materials Science
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02212/
关键词：
ダイヤモンドMEMS磁気センサー磁気センサ高温

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发表时间： 2020
期刊：
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作者： [Zilong Zhang;L. Sang;Jian Huang;Linjun Wang;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao]
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作者： [Xiulin Shen;Huanying Sun;L. Sang;M. Imura;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao]
通讯作者： Xiulin Shen;Huanying Sun;L. Sang;M. Imura;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao
共 24 条
    Development of high-temperature and high-sensitivity diamond MEMS strain sensor
    • 批准号：
      21760267
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      LIAO Meiyong
    • 依托单位：
      National Institute for Materials Science
    国内基金
    海外基金
    导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
    • 批准号：
      2026JJ50499
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      樊波
    • 依托单位：
      南华大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
    • 批准号：
      JCZRQNB202600477
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北光谷实验室
    用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      蔡先法
    • 依托单位：
      南京邮电大学