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High-performance and high-reliability diamond MEMS: fundamental and magnetic sensing application
高性能、高可靠性金刚石MEMS：基础和磁传感应用
基本信息
- 批准号：20H02212
- 负责人：
- 金额：$ 11.4万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2020
- 资助国家：日本
- 起止时间：2020-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（34）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Self-Temperature-Compensated GaN MEMS Resonators through Strain Engineering up to 600 K.
通过高达 600 K 的应变工程实现自温度补偿 GaN MEMS 谐振器。
- DOI：
- 发表时间：2020
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：SANG;Liwen;サン フアンイン;Xuelin Yang;Tiefu Li;Bo Shen;LIAO;Meiyong
- 通讯作者：Meiyong
Precise characterization of atomic-scale corrosion of single crystal diamond in H2 plasma based on MEMS/NEMS
- DOI：10.1016/j.corsci.2020.108651
- 发表时间：2020-07
- 期刊：
- 影响因子：8.3
- 作者：Haihua Wu;Zilong Zhang;L. Sang;Tiefu Li;J. You;M. Imura;Y. Koide;M. Liao
- 通讯作者：Haihua Wu;Zilong Zhang;L. Sang;Tiefu Li;J. You;M. Imura;Y. Koide;M. Liao
Single-crystal Diamond MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 773 K.
用于磁传感器的单晶金刚石 MEMS 谐振器，工作温度高达 773 K。
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：ZHANG;Zilong;SANG;Liwen;KOIDE;Yasuo;KOIZUMI;Satoshi;LIAO;Meiyong
- 通讯作者：Meiyong
On‐chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- DOI：10.1002/adfm.202300805
- 发表时间：2023-03
- 期刊：
- 影响因子：19
- 作者：Zilong Zhang;Wen Zhao;Guo Chen;M. Toda;S. Koizumi;Y. Koide;M. Liao
- 通讯作者：Zilong Zhang;Wen Zhao;Guo Chen;M. Toda;S. Koizumi;Y. Koide;M. Liao
Integrated TbDyFe Film on a Single‐Crystal Diamond Microelectromechanical Resonator for Magnetic Sensing
- DOI：10.1002/pssr.202100352
- 发表时间：2021-07
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xiulin Shen;Huanying Sun;L. Sang;M. Imura;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao
- 通讯作者：Xiulin Shen;Huanying Sun;L. Sang;M. Imura;Y. Koide;S. Koizumi;M. Liao
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LIAO Meiyong其他文献
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