加熱探針リソグラフィーを使った教育プログラムと微細加工技術の開拓

使用热探针光刻和微加工技术开发的教育计划

基本信息

  • 批准号:
    19H00252
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.35万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
加熱プローブホルダーの開発と学生実験導入の試み
加热探针支架的开发并尝试引入学生实验
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤 健
  • 通讯作者:
    佐藤 健
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    SATO Ken;KAMIMURA Yoshitsugu
  • 通讯作者:
    KAMIMURA Yoshitsugu

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  • 通讯作者:
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    22H04220
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    2022
  • 资助金额:
    $ 0.35万
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  • 批准号:
    21K18676
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.35万
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    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
刺激応答キラル希土類錯体の創出と 光リソグラフィー材料への応用
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  • 批准号:
    21J10022
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.35万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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  • 批准号:
    20K05291
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 0.35万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Elucidation of wetting mechanism by body fluid
阐明体液润湿机制
  • 批准号:
    20K20254
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 0.35万
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    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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    19K12644
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 0.35万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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用于下一代半导体光刻的 EUV 光源 Sn 碎片的分解
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    18K03600
  • 财政年份:
    2018
  • 资助金额:
    $ 0.35万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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知道了