Nano-defect super-resolution measurement of next-generation micro-functional structures using localized optical fields with dynamic phase control

使用具有动态相位控制的局部光场对下一代微功能结构进行纳米缺陷超分辨率测量

基本信息

  • 批准号：
    19H02036
  • 负责人：
    Takahashi Satoru
  • 金额：
    $ 11.23万
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2019
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2019-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（31）
专著数量（0）
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
Coherent optical microscopy for micro-structured surface inspection beyond diffraction limit
用于超出衍射极限的微结构表面检测的相干光学显微镜
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
  • 通讯作者：
    Satoru Takahashi
回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法、O plus E 2020年11・12月号(第476号)
超越衍射极限的表面精细周期结构的光学无损深度测量方法，O plus E 2020年11月/12月号（第476期）
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi;高橋哲;高橋哲
  • 通讯作者：
    高橋哲
A novel optical super-resolution microscopy for coherent imaging system for micro-structured surface inspection
一种用于微结构表面检测的相干成像系统的新型光学超分辨率显微镜
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
  • 通讯作者：
    Satoru Takahashi
ナノ・マイクロものづくりを支える光計測の発展と可能性，計量計測 measuring instruments はかる, New Technology, 第37巻，第1号，通巻第138号
支持纳米和微米制造的光学测量的发展和潜力，测量仪器，新技术，第37卷，第1期，第138卷
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi;高橋哲;高橋哲;高橋哲
  • 通讯作者：
    高橋哲
微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第5報) ―アノード酸化Al基板による構造照明特性の解析―
使用微结构基板的超分辨率成像研究（第5次报告）-使用阳极氧化Al基板的结构照明特性分析-
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Yizho Guan;Shotaro Kadoya;Masaki Michihata;Satoru Takahashi;S. Takahashi;市川廉，増井周造，久米大将，西川正俊，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
  • 通讯作者：
    市川廉，増井周造，久米大将，西川正俊，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋哲
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知道了