课题基金 / 基金详情

原子間力顕微鏡の固体表面像分解能と二次元量子摩擦現象の解明に関する研究

原子間力顕微鏡の固体表面像分解能と二次元量子摩擦現象の解明に関する研究
原子力显微镜固体表面图像分辨率研究及二维量子摩擦现象的阐明
批准号:
13750113
负责人:
清水 淳
金额:
$1.22万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2001
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2001 至 2002

项目摘要

项目成果

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本研究は、原子間力顕微鏡(AFM)による固体表面観察においてプロープと固体表面との間に生ずる原子間相互作用を、カンチレパの剛性を考慮した分子動力学シミュレーションを通じ動力学的に明らかにすることを目的とする.平成14年度は、摩擦力顕微鏡的な使用に着目し解析した.プローブ先端の大きさが反作用力像とプローブの運動挙動に及ぼす影響を明らかにするため、プロープ先端原子の数が1からダイヤモンド4格子となりほぼ平面とみなせる状態までを想定し、銅{100}面のスキャンを解析した。得られた成果を以下に示す.1単原子プローブの場合、試料表面原子と試料表面原子との中間のポテンシャルエネルギーが極小となる領域にスティックし、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じるとともに、鮮明な原子像が得られる。2プローブ先端の原子数が試料表面原子の間隔(ここでは1格子定数)程度になると、試料表面原子と試料表面原子との間の領域にスティックしにくくなり、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じにくくなるとともに,原子像は不鮮明となる.3平坦な先端を有するプローブ(ここでは4格子定数)以上では、試料表面原子間隔の周期で存在するプロープ先端形状に応じたポテンシャルエネルギーの極小点においてスティックを起こし、原子スケールの2次元スティックスリップ現象が生じるとともに、鮮明な原子像が得られる。このことから、試料表面原子の周期性によって摩擦力顕微鏡でも原子像は得られることが判明した.4研究成果は「Tribotest Journal」および「J.Materials Processing Technology」に掲載された.国際会議ASIATRIB'2002(Korea),IMCC'2002(China)、その他に国内の諸学会等で発表された。最終的に研究成果報告書としてまとめられた.
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
J.Shimizu, L.Zhou, H.Eda: "Simulation Analysis of Contact Process in AFM Surface Observation"Proc.2nd World Tribology Congress,WTC2001,Austria. (M-12-22-157-SHIMIZU.pdf). (2001)
J.Shimizu,L.Zhou,H.Eda:“AFM表面观察中接触过程的模拟分析”Proc.第二届世界摩擦学大会,WTC2001,奥地利。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
H.Eda, L.Zhou, H.Nakano, R.Kondo, J.Shimizu: "Development of Single Step Grinding System for Large Scale φ300 Si Wafer:A Total Integrated Fixed-Abrasive Solution"Annals of the CIRP. 50・1. 225-228 (2001)
H.Eda、L.Zhou、H.Nakano、R.Kondo、J.Shimizu:“大型 φ300 硅片的单步研磨系统的开发:整体集成固定磨料解决方案”CIRP 50・1 年鉴。 225-228(2001)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
L.Zhou, J.Shimizu, K.Shinohara, H.Eda: "Three-dimensional kinematical analyses for surface grinding of large scale substrate"Precision Engineering. 27・2. 175-184 (2003)
L.Zhou、J.Shimizu、K.Shinohara、H.Eda:“大型基板表面磨削的三维运动学分析”精密工程27・2(2003)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
江田 弘, 周 立波, 中野博民, 近藤 良, 清水 淳, 田島琢二: "大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発"精密工学会誌. 67・10. 1693-1697 (2001)
Hiroshi Eda、Libo Zhou、Hirotami Nakano、Ryo Kondo、Jun Shimizu、Takuji Tajima:“大直径 φ300mm 硅晶片的超级加工机的开发”日本精密工程学会杂志 67・10。 (2001)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
12
    ナノ加工・計測を駆使したダメージ層を最小化する次世代半導体基板研削機構の解明
    • 批准号:
      23K26006
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $4.33万
    • 财政年份:
      2024
    • 负责人:
      清水 淳
    • 依托单位:
    Clarification of Grinding Mechanism of Next Generation Semiconductor Substrates for Minimizing the Damaged Layers Using Nanomachining and Metrology
    • 批准号:
      23H01311
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $12.31万
    • 财政年份:
      2023
    • 负责人:
      清水 淳
    • 依托单位:
    掘起し現象のMEMS利用に関する研究
    • 批准号:
      20656028
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.24万
    • 财政年份:
      2008
    • 负责人:
      清水 淳
    • 依托单位:
    Siおよび次世代半導体基板材料の無欠陥加工メカニズムと最適加工環境・条件の解明
    • 批准号:
      17760099
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额:
      $1.73万
    • 财政年份:
      2005
    • 负责人:
      清水 淳
    • 依托单位:
    海外基金