Development of Birefringence Analysis Code for Single Crystal Optical Elements
单晶光学元件双折射分析代码的开发
基本信息
- 批准号:24656086
- 负责人:
- 金额:$ 2.58万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份:2012
- 资助国家:日本
- 起止时间:2012-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Steady state creep constitutive equation was formulated using the experimental data on compressive tests under constant strain rates at elevated temperatures. Residual stress in a calcium fluoride single crystal ingot after ingot annealing was calculated by the nonlinear finite element analysis using the steady state creep constitutive equation. In the birefringence analysis, optical path difference was obtained from the residual stress. The distributions of the optical path difference obtained from the analysis were compared with those of experimental measurements. It is found that analysis results agree well with experimental measurements. Thus the subsystem for residual stress estimation was verified. The birefringence was estimated for a calcium fluoride single crystal chamber window of an ArF excimer laser light source with a wave a length of 193nm used in a semiconductor lithography system.
利用高温恒应变速率压缩试验数据,建立了稳态蠕变本构方程。采用稳态蠕变本构方程,对氟化钙单晶钢锭退火后的残余应力进行了非线性有限元分析。在双折射分析中,由残余应力得到光程差。将分析得到的光程差分布与实验测量结果进行了比较。分析结果与实验结果吻合较好。从而对残余应力估计子系统进行了验证。对用于半导体光刻系统的波长为193nm的ArF准分子激光光源的氟化钙单晶腔窗的双折射特性进行了估计。
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
フッ化カルシウム単結晶の真性複屈折を考慮した光学特性解析
考虑氟化钙单晶本征双折射的光学特性分析
- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:北村優太;宮崎則幸;永倉直人;縄田輝彦
- 通讯作者:縄田輝彦
Birefringence Simulations of Calcium Fluoride Single Crystal Window with Consideration of Intrinsic Birefringence
考虑本征双折射的氟化钙单晶窗的双折射模拟
- DOI:
- 发表时间:2012
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Y. KITAMURA;N. MIYAZAKI;N. NAGAKURA;Y. HASHIMOTO and I. MASADA
- 通讯作者:Y. HASHIMOTO and I. MASADA
フッ化カルシウム単結晶の真性複屈折を考慮した複屈折シミュレーション
考虑氟化钙单晶固有双折射的双折射模拟
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:北村優太;宮崎則幸;永倉直人;橋本健宏;正田勲
- 通讯作者:正田勲
Computational Solid Mechanics Studies on Material Strengths of Single Crystals for Electronic/Optical Use
电子/光学用单晶材料强度的计算固体力学研究
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:北村優太;宮崎則幸;永倉直人;橋本健宏;正田 勲;N. MIYAZAKI
- 通讯作者:N. MIYAZAKI
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