GaN基板に対するスラリーフリーな高能率無歪一貫加工プロセスの開発
GaN基板に対するスラリーフリーな高能率無歪一貫加工プロセスの開発
GaN衬底无浆料、高效、无应变集成加工工艺开发
批准号：
23K13233
负责人：
孫 栄硯
金额：
$2.91万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2025-03-31
关键词：
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会议论文
プラズマ援用研磨プロセスによる単結晶GaN基板の高能率無歪加工
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批准号：22K20410
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项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
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资助金额：$1.83万
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财政年份：2022
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负责人：孫 栄硯
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依托单位：