Plasmaprozesssystem zur Abscheidung und zum Trockenätzen von dünnen Schichten
用于薄层沉积和干法蚀刻的等离子处理系统
基本信息
- 批准号:409605439
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Major Research Instrumentation
- 财政年份:2018
- 资助国家:德国
- 起止时间:2017-12-31 至 无数据
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Unsere Forschung im Bereich der Nanophotonik und der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu ist es in einem ersten Schritt unbedingt erforderlich, dünne Schichten aus Dielektrika und Halbleitern mit hoher Qualität abscheiden zu können. Nach erfolgter Strukturierung eines auf die Schicht aufgebrachten Polymerfilms mittels Elektronenstrahllithographie muss diese Strukturierung dann durch einen trockenen Ätzprozess in die Schicht selbst übertragen werden. Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte Plasmasystem ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, was einen Neuaufbau unserer Infrastruktur zur Nanofabrikation mit sich bringt. Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren einen Teil der mir zugesagten Erstaustattung meiner Labore in dem neuen Institut dar. Unsere gesamte Forschung auf dem Gebiet der Nanophotonik mit strukturierten Dielektrika ist ohne den Aufbau dieses Plasmaprozesssystems nicht möglich.
纳米光子学研究与等离子体学研究与纳米光子学研究与纳米光子学研究与应用研究。大同小同,大同小同,大同小同,大同小同,大同小同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同,大同。在die Schicht selbst <s:1> bertragen werden中,聚合物薄膜和电子薄膜光刻技术在die Schicht selbst bertragen werden中使用。Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte plasmassystem ermöglicht dies mit höchster Qualität, and wind in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut mnchen der LMU untergebracht werden。来自伦敦帝国理工学院和LMU的研究团队合作完成了一项名为“基础设施与纳米制造”的研究。Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren enenen Teil der der zugesagten Erstaustattung meer laborer in dem neen Institut dar。纳米光子学的研究进展:纳米光子学的研究进展:纳米光子学的研究进展:纳米光子学的研究进展:等离子体加工系统的研究进展:möglich。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
吉治仁志 他: "トランスジェニックマウスによるTIMP-1の線維化促進機序"最新医学. 55. 1781-1787 (2000)
Hitoshi Yoshiji 等:“转基因小鼠中 TIMP-1 的促纤维化机制”现代医学 55. 1781-1787 (2000)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
LiDAR Implementations for Autonomous Vehicle Applications
- DOI:
- 发表时间:
2021 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
吉治仁志 他: "イラスト医学&サイエンスシリーズ血管の分子医学"羊土社(渋谷正史編). 125 (2000)
Hitoshi Yoshiji 等人:“血管医学与科学系列分子医学图解”Yodosha(涉谷正志编辑)125(2000)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Effect of manidipine hydrochloride,a calcium antagonist,on isoproterenol-induced left ventricular hypertrophy: "Yoshiyama,M.,Takeuchi,K.,Kim,S.,Hanatani,A.,Omura,T.,Toda,I.,Akioka,K.,Teragaki,M.,Iwao,H.and Yoshikawa,J." Jpn Circ J. 62(1). 47-52 (1998)
钙拮抗剂盐酸马尼地平对异丙肾上腺素引起的左心室肥厚的影响:“Yoshiyama,M.,Takeuchi,K.,Kim,S.,Hanatani,A.,Omura,T.,Toda,I.,Akioka,
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('', 18)}}的其他基金
An implantable biosensor microsystem for real-time measurement of circulating biomarkers
用于实时测量循环生物标志物的植入式生物传感器微系统
- 批准号:
2901954 - 财政年份:2028
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Exploiting the polysaccharide breakdown capacity of the human gut microbiome to develop environmentally sustainable dishwashing solutions
利用人类肠道微生物群的多糖分解能力来开发环境可持续的洗碗解决方案
- 批准号:
2896097 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
A Robot that Swims Through Granular Materials
可以在颗粒材料中游动的机器人
- 批准号:
2780268 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Likelihood and impact of severe space weather events on the resilience of nuclear power and safeguards monitoring.
严重空间天气事件对核电和保障监督的恢复力的可能性和影响。
- 批准号:
2908918 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Proton, alpha and gamma irradiation assisted stress corrosion cracking: understanding the fuel-stainless steel interface
质子、α 和 γ 辐照辅助应力腐蚀开裂:了解燃料-不锈钢界面
- 批准号:
2908693 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Field Assisted Sintering of Nuclear Fuel Simulants
核燃料模拟物的现场辅助烧结
- 批准号:
2908917 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Assessment of new fatigue capable titanium alloys for aerospace applications
评估用于航空航天应用的新型抗疲劳钛合金
- 批准号:
2879438 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Developing a 3D printed skin model using a Dextran - Collagen hydrogel to analyse the cellular and epigenetic effects of interleukin-17 inhibitors in
使用右旋糖酐-胶原蛋白水凝胶开发 3D 打印皮肤模型,以分析白细胞介素 17 抑制剂的细胞和表观遗传效应
- 批准号:
2890513 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
Understanding the interplay between the gut microbiome, behavior and urbanisation in wild birds
了解野生鸟类肠道微生物组、行为和城市化之间的相互作用
- 批准号:
2876993 - 财政年份:2027
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Studentship
相似国自然基金
锌调蛋白Zur识别两类靶标DNA的结构基础
- 批准号:31700052
- 批准年份:2017
- 资助金额:22.0 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
相似海外基金
Plasmaprozesssystem zur Abscheidung und zum Trockenätzen von dünnen Schichten
用于薄层沉积和干法蚀刻的等离子处理系统
- 批准号:
414137412 - 财政年份:2018
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Major Research Instrumentation
Plasma-Diagnostik zur in situ Messung konventioeneller Plasmen und hoch metallionenhaltiger HIPIMS-Plasmen zum Ionenätzen und für die Abscheidung von Dünnschichten.
用于离子蚀刻和薄膜沉积的传统等离子体和含高金属离子的 HIPIMS 等离子体的原位测量的等离子体诊断。
- 批准号:
53940308 - 财政年份:2008
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
2K-Mikrospritzgießen partiell leitfähiger Kunststoffformen zur gerichteten Abscheidung aus wässrigen Elektrolyten
用于水性电解质定向沉积的部分导电塑料模具的 2K 微注射成型
- 批准号:
22012275 - 财政年份:2006
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Units
Synthese und Charakterisierung kolloidaler Suspensionen über mizellare Lösungen zur Abscheidung nanoskalig heterogener dielektrischer Schichten
通过胶束溶液合成和表征胶体悬浮液,用于沉积纳米级异质介电层
- 批准号:
16359990 - 财政年份:2005
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
Single-Source-Precursoren zur Abscheidung von Kupfersulfidfilmen mittels MOCVD
使用 MOCVD 沉积硫化铜薄膜的单源前驱体
- 批准号:
5432380 - 财政年份:2004
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Emmy Noether International Fellowships
Alternative MOCVD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb
用于沉积 AlSb、GaSb 和 InSb 的替代 MOCVD 前驱体
- 批准号:
5404548 - 财政年份:2003
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
Alternative MOVCD-Precursoren zur Abscheidung von AlSb, GaSb und InSb
用于沉积 AlSb、GaSb 和 InSb 的替代 MOVCD 前驱体
- 批准号:
5310674 - 财政年份:2001
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
Synthese neuer III-V-Verbindungen und Untersuchungen zur Abscheidung halbleitender Materialien mittels der MOCVD-Methode
新型 III-V 族化合物的合成以及使用 MOCVD 方法沉积半导体材料的研究
- 批准号:
5217434 - 财政年份:1999
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Grants
Maßgeschneiderte metallorganische Precursoren zur Abscheidung und p-Dotierung (Mg) von GaN
用于 GaN 沉积和 p 掺杂 (Mg) 的定制有机金属前体
- 批准号:
5371268 - 财政年份:1997
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Priority Programmes
Maßgeschneiderte Metallorganika zur Abscheidung von Elementen und von Elementkombinationen
用于沉积元素和元素组合的定制金属有机物
- 批准号:
5200662 - 财政年份:1997
- 资助金额:
-- - 项目类别:
Research Units