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Plasmaprozesssystem zur Abscheidung und zum Trockenätzen von dünnen Schichten

用于薄层沉积和干法蚀刻的等离子处理系统

基本信息

批准号：
409605439
负责人：
金额：
--
依托单位：
Ludwig-Maximilians-Universität München (LMU)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2018
资助国家：
德国
起止时间：
2017-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/409605439?language=en
关键词：
Plasmaprozesssystem zur Abscheidung und zum

项目摘要

Unsere Forschung im Bereich der Nanophotonik und der Plasmonik beruht auf der Nanostrukturierung von dünnen Schichten und der Herstellung von einzelnen Strukturen mit Abmessungen im Nanometerbereich. Dazu ist es in einem ersten Schritt unbedingt erforderlich, dünne Schichten aus Dielektrika und Halbleitern mit hoher Qualität abscheiden zu können. Nach erfolgter Strukturierung eines auf die Schicht aufgebrachten Polymerfilms mittels Elektronenstrahllithographie muss diese Strukturierung dann durch einen trockenen Ätzprozess in die Schicht selbst übertragen werden. Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte Plasmasystem ermöglicht dies mit höchster Qualität, und wird in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut München der LMU untergebracht werden. Die Notwendigkeit der Anschaffung ergibt sich zudem insbesondere durch den Umzug meiner Forschergruppe vom Imperial College London an die LMU, was einen Neuaufbau unserer Infrastruktur zur Nanofabrikation mit sich bringt. Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren einen Teil der mir zugesagten Erstaustattung meiner Labore in dem neuen Institut dar. Unsere gesamte Forschung auf dem Gebiet der Nanophotonik mit strukturierten Dielektrika ist ohne den Aufbau dieses Plasmaprozesssystems nicht möglich.

纳米光子学研究与等离子体学研究与纳米光子学研究与纳米光子学研究与应用研究。大同小同，大同小同，大同小同，大同小同，大同小同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同，大同。在die Schicht selbst <s:1> bertragen werden中，聚合物薄膜和电子薄膜光刻技术在die Schicht selbst bertragen werden中使用。Das in diesem Antrag beschriebene kombinierte plasmassystem ermöglicht dies mit höchster Qualität, and wind in einem von der Gruppe geleiteten 170 Quadratmeter umfassenden Reinraum in dem neuen Nanoinstitut mnchen der LMU untergebracht werden。来自伦敦帝国理工学院和LMU的研究团队合作完成了一项名为“基础设施与纳米制造”的研究。Die hier beantragte Gerätekombination stellt des Weiteren enenen Teil der der zugesagten Erstaustattung meer laborer in dem neen Institut dar。纳米光子学的研究进展：纳米光子学的研究进展：纳米光子学的研究进展：纳米光子学的研究进展：等离子体加工系统的研究进展：möglich。