配列したマイクロ共振器を用いたレーザ発振器の開発と応用

阵列微谐振器激光振荡器的研制与应用

• 批准号: 09750046
• 负责人: 佐々木 実
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1997 至 1998
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-09750046/
• 关键词: 色素レーザ; マイクロキャビティ; 配列; レーザ発振; Siマイクロマシニング; 微粒子; ポリスチレン球; ロ-ダミン

配列した6角柱構造をSiマイクロマシニング技術を用いて製作した。Si(111)ウェーハ上に6角形の配列をパターニングし、ドライエッチングで基板にほぼ垂直なエッチングを施した。それだけでは、ドライエッチング時に壁面に刻まれてしまう1μm程度の細かい凹凸が残る。この細かい形状を結晶方位を利用した異方性エッチング(エチレンジアミン、ピロカテコール、水をエッチャントに使用)を短時間施すことで取り除いた。(110)面が(111)面の次にエッチング速度が遅く、残り易い性質を利用するため、予め各面が(110)面になるようにアライメントした。結果、面の粗さをほとんど無くすことができた。エッチング時間を長くするほど欠陥の少ない面にできるが、長すぎると(111)面が出てきてしまうためにちょうど良い時間がある。以上の方法で製作した6角形の穴を持つSiウェーハを鋳型にして、蛍光色素(ローダミン6G)とポリメタクリル酸メチルを一緒に溶かし込んだ有機溶液を乾燥させた。これを粘着シールと一緒に剥がすことで蛍光色素を固体化した6角形のレーザキャビテイを得た。色素の励起にはYAGレーザの2倍波(波長532nm)を使用した。CCDカメラで観察しても赤く光っている様子が確認できた。昨年の微粒子(直径1.75μm)の結果と比べると輝度は格段に上がった。これは色素濃度を飽和値まで上げれたからでもある。発光スペクトルを測定すると、励起強度の増加と共に明かなピークが観察できた。励起光強度を更に上げると、シングルモードではなくマルチモードで発光した。マイクロキャビティのサイズの精度がまだ不十分であること、隣通しの相互作用が少ないこと等の原因が考えられる。Si鋳型の精度、特に壁面をより平面にするにつれてピークのQ値が改善されている。また、再現性が無いものの一瞬だけ強い発光ピークが得られることもある。このため、続けて研究を行うことを予定している。

It is equipped with hexagonal columns to make Si equipment. Technical equipment is used as a tool. The hexagonal shape on the Si is equipped with the following lines: the base plate is perpendicular to the base plate, vertical to the vertical. The surface of the wall should be engraved with a degree of 1 μ m to avoid bump and bump. The orientation of the shape and the crystal of the system is based on the characteristics of the device (such as the use of the device, the device, the water supply, the device, the device). (110) the speed of each side (111) is much higher than that of the other side (111). The speed of each side is much higher than that of the other side (110). Results: the results show that there is no significant difference between the two groups. For a long time, it is necessary to pay attention to the number of people who need to pay for a long time, and for a long time (111), we need to pay a lot of money for a long time. The above method is used to make a 6-angle point to keep the Si and light pigments (6G). The solution is dissolved in an organic solution and dried. Adhesion, peeling, light pigmentation, solid, 6-angle, adhesion, adhesion, peeling, peeling, light pigment solidification, 6 angles, adhesion, peeling, peeling, light pigment solidification, 6-angularity, adhesion, adhesion, The pigment stimulates the use of 2-octave wave (wavelength 532nm) of the YAG filter. CCD, please make sure that you are not aware of the situation. The results of last year's fine particles (diameter 1.75 μ m) are better than those of the fine particles (1.75 μ m). The pigments are different from each other in terms of pigment content and color. The light is measured, the strength is increased, and the light is measured. The intensity of light is increased, and the light intensity is increased. There are some reasons, such as poor accuracy, low accuracy, low accuracy, and so on. Si type precision, special wall surface, plane surface, surface If you want to do so, you will be able to do so in an instant. Please do some research, do some research, and make a predetermined decision.