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マイクロアクチュエータと複合した集積型光計測システム

与微执行器相结合的集成光学测量系统

基本信息

批准号：
14702039
负责人：
佐々木実
金额：
$ 14.56万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

高性能な小型レーザスキャン式変位センサを可能にする研究を進めた。1 変位センサ:レーザビームはスキャニングせずに対象物に照射し反射光の光量や反射角を検出するPosition Sensitive Detectorを組み合わせた、三角測量型小型距離センサを開発した。昨年度までのセンサからの改良としてレーザダイオードをセンサ上に固定した。新しい製作プロセスであるウェハ折り曲げに関しては、ポリマー材料であるフォトレジストを金属銅めっきに替えた。湿度などの影響で経時変化するようなことは無くなった。製作における歩留まり・安定性も高まり、上記改良型センサに関しては、折り曲げ部分を増加させても安定して、デバイス製作が、可能になった。すなわち、アクチュエータのようなパッケージングが難しいとされるデバイスとも組み合わせができる見通しがついた。2 光スキャナ:消費電力の少ない静電駆動式光スキャナの改良を進めている。低電圧駆動が可能な光スキャナについては、5Vで7.3°のミラー回転角を得た。この値は、これまで報告させている低電圧光スキャナで世界最大の値である。本特性はミラーを支えるトーションバーに張力を加えることで、回転方向には柔らかく、かつ、その他の回転方向には堅牢にすることが出来たことによる。2005年6月に開催される国際会議Transducers'05で発表予定である。また、光スキャナ内部に回転角センサを組み込む研究も進めた。結晶シリコンがもつピエゾ抵抗効果を利用し、せん断応力を検出する、温度ドリフトの影響を受け難い回転角センサを実現した。本方式は圧力センサにおいて実績のあるセンサである。変調方式の検出方法を併用することで、角度分解能0.03°を確認した。1と2いずれも、従来の光センサや光スキャナが抱えていた難問を解決するものである。

High-performance compact レーザスキャン-style センサをpossible にする research を advance めた. 1 変 Position センサ:レーザビームはスキャニングせずに対Object にirradiation しReflected light のLight quantity やReflection angle を検出するPosition Sensitive Detector を group み合せた, triangulation type small distance センサを开発した. Last year's までのセンサからの Improved としてレーザダイオードをセンサ上にfixed した.新しいproducedプロセスであるウェハfoldedりquげに关しては、ポリマー material であるフォトレジストを metal copper めっきにsubstitute えた. Humidity is not affected by the change of time and humidity. Production of における歩 stay まり・High stability もまり, improved type of センサに关しては mentioned above, The parts of the song that have been folded are added, the stability is stabilized, the production is done, and it is possible. Noseとされるデバイスとも组み合わせができる见通しがついた. 2 光スキャナのスキャナの Improved スキャナの that consumes less electricity and uses static electricity. It is possible to use a low-voltage power supply and a 5V 7.3-degree power supply.この値は、これまで Report させているLow-voltage light スキャナでThe world's largest の値である. This feature is the tension of the はミラーをbranch and the return direction of the はミラーションバーにtension. Soft らかく, かつ, そのhis の回転directional にはfirm にすることが出たことによる. The international conference Transducers'05 will be held in June 2005 and is scheduled to be held.また、光スキャナ内に転角センサを组み込む Research も入めた. Crystal シリコンがもつピエゾ Resistance effect を Utilization せん Breaking power を検出する、The influence of temperature is affected by the difficulty of returning to the corner of the corner. This method is a pressure-sensitive method. The adjustment method can be confirmed by combining the method with the angle resolution of 0.03°. 1と2いずれも、従来の光センサや光スキャナがEmbraceえていた无码をsolvedするものである.