权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

マイクロアクチュエータと複合した集積型光計測システム

与微执行器相结合的集成光学测量系统

基本信息

批准号：
14702039
负责人：
佐々木実
金额：
$ 14.56万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

高性能な小型レーザスキャン式変位センサを可能にする研究を進めた。1 変位センサ:レーザビームはスキャニングせずに対象物に照射し反射光の光量や反射角を検出するPosition Sensitive Detectorを組み合わせた、三角測量型小型距離センサを開発した。昨年度までのセンサからの改良としてレーザダイオードをセンサ上に固定した。新しい製作プロセスであるウェハ折り曲げに関しては、ポリマー材料であるフォトレジストを金属銅めっきに替えた。湿度などの影響で経時変化するようなことは無くなった。製作における歩留まり・安定性も高まり、上記改良型センサに関しては、折り曲げ部分を増加させても安定して、デバイス製作が、可能になった。すなわち、アクチュエータのようなパッケージングが難しいとされるデバイスとも組み合わせができる見通しがついた。2 光スキャナ:消費電力の少ない静電駆動式光スキャナの改良を進めている。低電圧駆動が可能な光スキャナについては、5Vで7.3°のミラー回転角を得た。この値は、これまで報告させている低電圧光スキャナで世界最大の値である。本特性はミラーを支えるトーションバーに張力を加えることで、回転方向には柔らかく、かつ、その他の回転方向には堅牢にすることが出来たことによる。2005年6月に開催される国際会議Transducers'05で発表予定である。また、光スキャナ内部に回転角センサを組み込む研究も進めた。結晶シリコンがもつピエゾ抵抗効果を利用し、せん断応力を検出する、温度ドリフトの影響を受け難い回転角センサを実現した。本方式は圧力センサにおいて実績のあるセンサである。変調方式の検出方法を併用することで、角度分解能0.03°を確認した。1と2いずれも、従来の光センサや光スキャナが抱えていた難問を解決するものである。

The high-performance "small size" may lead to further research. 1 position sensor: the image object is used to illuminate the reflected light, the amount of light is reflected, and the reflection angle is used to determine the combination of the Position Sensitive Detector system and the triangle measurement. Last year, we did not know how to improve the quality of the market. The new machine is made of metal, metal, and material. The humidity effect has a negative effect on the temperature response. The stability is high, the improvement is high, the bending part is stable, the stability is high, the improvement is high, the folding part is stable, the stability is high, the improvement is improved, the stability is high, the improvement is improved, the stability is high, the improvement is improved, the stability is high, and the stability is high. Please do not know what to do. Please do not know what to do. 2 Optical equipment: low power consumption, low power consumption, static dynamic optical equipment, improved optical equipment, improved power consumption and improved performance. It is possible that a low temperature response may be achieved at the temperature of 5V to 7.3 °and the return angle. This is the largest report in the world. This property is sensitive to the strength of the cable, the direction of the back, the direction of the other, the direction of the back, the direction of the back. In June 2005, we began to review the schedule of the International Conference on Transducers'05. The research on the internal loop angle of the optical equipment has been greatly improved. The results showed that the resistance was affected by temperature, temperature and temperature. This is the way to make sure that you don't know what to do. In this way, the method can be confirmed by using the angle decomposition of 0.03 °. 1