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マイクロアクチュエータと複合した集積型光計測システム

与微执行器相结合的集成光学测量系统

基本信息

批准号：
14702039
负责人：
佐々木実
金额：
$ 14.56万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

高性能な小型レーザスキャン式変位センサを可能にする研究を進めた。1 変位センサ:レーザビームはスキャニングせずに対象物に照射し反射光の光量や反射角を検出するPosition Sensitive Detectorを組み合わせた、三角測量型小型距離センサを開発した。昨年度までのセンサからの改良としてレーザダイオードをセンサ上に固定した。新しい製作プロセスであるウェハ折り曲げに関しては、ポリマー材料であるフォトレジストを金属銅めっきに替えた。湿度などの影響で経時変化するようなことは無くなった。製作における歩留まり・安定性も高まり、上記改良型センサに関しては、折り曲げ部分を増加させても安定して、デバイス製作が、可能になった。すなわち、アクチュエータのようなパッケージングが難しいとされるデバイスとも組み合わせができる見通しがついた。2 光スキャナ:消費電力の少ない静電駆動式光スキャナの改良を進めている。低電圧駆動が可能な光スキャナについては、5Vで7.3°のミラー回転角を得た。この値は、これまで報告させている低電圧光スキャナで世界最大の値である。本特性はミラーを支えるトーションバーに張力を加えることで、回転方向には柔らかく、かつ、その他の回転方向には堅牢にすることが出来たことによる。2005年6月に開催される国際会議Transducers'05で発表予定である。また、光スキャナ内部に回転角センサを組み込む研究も進めた。結晶シリコンがもつピエゾ抵抗効果を利用し、せん断応力を検出する、温度ドリフトの影響を受け難い回転角センサを実現した。本方式は圧力センサにおいて実績のあるセンサである。変調方式の検出方法を併用することで、角度分解能0.03°を確認した。1と2いずれも、従来の光センサや光スキャナが抱えていた難問を解決するものである。

High performance, low cost, low cost. 1. Position Sensitive Detector: Light Source: Light Source Last year, the company started to improve its services. The new production of copper and aluminum alloy The humidity affects the temperature. The production process is stable, and the improvement of the production process is possible. The first is to open the door and open the door. 2. The improvement of the optical system: less consumption of electric power and electrostatic dynamic optical system. Low voltage operation is possible due to the light source, 5V and 7.3° return angle. This value is reported as the world's largest value for low voltage light. This feature is to increase the tension in the direction of return, to increase the tension in the direction of return, to increase the tension in the direction of return, to increase the tension in the direction of return. The International Conference Transducers'05 was held in June 2005. The light is on the inside. The crystal structure is resistant to the effects of temperature and temperature. This way, you're going to have to pay for it. The angle resolution can be confirmed by 0.03°. 1. In the middle of the game, there is no way to solve the problem.