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光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

基于光纤开发的微机械加工

基本信息

批准号：
14655094
负责人：
佐々木実
金额：
$ 1.98万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度の実施計画通り、光ファイバそのものに施す加工は最小限に抑えて、複雑な構造は組み合わせるシリコンデバイス側に含めて組み合わせる方針で技術開発を進めた。昨年度の軸ずれ補正機能を目指したマイクロレンズも一つの試みである。この考えは、ボールレンズをセルフアライメントで中心に精度良く固定するレンズホルダに発展した。光ファイバに施す加工は細径化程度に留めて、シリコンウェハから加工する構造には複雑なMEMSデバイスを用意し、両者を相性良く組み合わせるデバイスを開発した。光ファイバを加熱する複雑なマイクロヒータのアレイデバイスをシリコンデバイス側で用意して、光ファイバもしくは従来からのファイバ型デバイスと組み合わせる試みを行った。具体的には、減衰量可変の長周期ファイバグレーティングおよび短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスである。MEMSデバイスとしては、SiNやpoly-Si膜からなる薄膜型デバイス、およびSOI(silicon on insulator)ウェハ中の結晶Siをエッチングして形成したSOIデバイスの2種を製作した。減衰量可変の長周期ファイバグレーティングは、直径12μmの光ファイバに400-500μmの周期構造を温度分布によって転写するデバイスである。マイクロヒータに入力した電力に比例して、長周期ファイバグレーティングによる減衰が増加することを確認した。熱がこもり易い薄膜型デバイスの方が、より効率的な減衰特性を示した。短周期ファイバグレーティングのチャーピング用デバイスにおいては、光ファイバに短周期グレーティングを書き込んだデバイスとマイクロヒータデバイスを組み合わせた。ヒータ抵抗が系統的に変化するよう形状を変化させた。チャーピングに関しては、SOIデバイスの方が再現性の良い結果を示した。ヒータ材料であるpoly-Siの完全に均一なドーピングが現状では難しいからである。スペクトル形状は、反射ピークの長波長側へのシフトとピーク形状の変化が確認された。

This year, we are implementing the planning program, the optical system system, the minimum processing limit system, and the replication system. This year, we are implementing the planning program, optical system system, minimum processing system, and copying system. Last year, the right plane was able to tell you that you were in a bad situation. The accuracy of the center is good. The accuracy is good. On the basis of the accuracy of the processing system, the accuracy of the system, the system. In this case, you may want to know if you want to make a copy of the information in this paper. The specific amount of electricity and energy can be used for long periods of time, and for short periods, and for short periods. MEMS thin film, silicon poly-Si film, silicon poly-Si film, thin film, thin film The temperature distribution can be measured in the temperature range of 400-500 μ m in diameter and 12 μ m in diameter. It is necessary to increase the proportion of power generation and long-cycle energy consumption to ensure that there is a decline in energy consumption. In this paper, the thin film type is easy to be used, and the decay characteristics of the thin film type are shown. In the short period, we need to know how to change the temperature in the short period. in the short period, we need to know how to improve the performance of the system. The system is resistant to the transformation of the system. The shape of the system is changed. Please make sure that the results of the sexual improvement test are not correct. The results of the SOI prescription show that the results are not good enough. The material, the poly-Si, the material, the material and the material. The shape, the reflection, the shape, the reflection, the shape, the shape, the reflection, the reflection, the shape, the shape