权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

回転角センサー体型MEMS光スキャナ

旋转角度传感器型MEMS光学扫描仪

基本信息

批准号：
17040003
负责人：
佐々木実
金额：
$ 2.5万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2005
资助国家：
日本
起止时间：
2005 至 2006
项目状态：
已结题

项目摘要

改良した光スキャナを完成した。主たる改良は、静電アクチュエータとして駆動しながら、センサ信号が得られるようにしたこと、センサの高精度化のために電気的絶縁を施した点である。通常、アクチュエータはシリコン酸化膜のエッチングによってリリースするのに対して、センサの保護膜には酸化膜が良いという互いに相反する構造を用意する必要がある。製作プロセスは、この点に配慮した。一体形成した回転角センサがアクチュエータの動作を妨げることなく動作できることを示した。静電アクチュエータを駆動(90Vで〜1゜)しながら、同時にセンサ信号を得た。ミラー回転角を光学的な手法で測定しつつ、センサ信号と比較した。SNの差はあるものの、ミラー回転角とほぼ同形のセンサ信号が得られた。マイクロミラーに集積化させたセンサによって、ミラーの静電駆動に追従した信号を示したのは、世界初である。センサに流すバイアス電流がトーションバーを加熱し、ミラーの動作に悪影響を及ぼすのではないかと指摘されてきた。センサに加えるバイアス電流を、光スキャナの共振周波数(〜14kHz)よりも高い周波数で変調すると、ミラーの変動が抑えられることも分かった。センサ信号を詳しく調べると、0-1゜のミラー回転4往復分のセンサ信号はほぼ重なりヒステリシスが少ないことが伺えた。現在はSNが十分でないため、近似曲線を利用して、ヒステリシスを評価した。結果、全ての往復で2%以内に収まっていることが分かった。電圧をオープンループで印加した駆動方法においてはヒステリシスが4%あった。少なくとも、センサ信号を利用してミラーを動作させた方がヒステリシスは少なくできると言える。今後は、更に信号の質を向上させる。電流変調を行う電気回路が十分高周波にできないことも、問題になっている。デバイスそのものと同じく改良の余地がある。

The light is gone. The main purpose of this paper is to improve the accuracy of the static electricity. Generally, the structure of the acidified film is necessary for the protection of the acidified film. The production of the film, the point of consideration. One body is formed, and the other is formed. Static electricity is generated when the voltage is low (90 V~1 V), and the signal is generated simultaneously. The angle of return is measured by optical means. The signal is compared. The difference between the SN and the target signal is obtained. The first time in the world, the first time in the world, the second time in the world, the third time in the world, the fourth time in the world. There is no doubt that the electrical current flowing through the support heats the motor and affects the operation of the motor. The resonance frequency (~14 kHz) of the current and light sources is increased, and the resonance frequency is decreased. The signal is divided into two parts: 1 part and 2 part. The signal is divided into two parts: 1 part and 2 part. Now SN is very close to the curve. The results were within 2% of the total. The electric power supply is 4% higher than the electric power supply. A few minutes later, the signal was sent to the user. In the future, the quality of the signal will be improved. The current modulation circuit has a very high frequency. There is room for improvement.