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粒子ビーム・レーザー分光法による成膜プロセスの研究

利用粒子束/激光光谱研究成膜过程

基本信息

批准号：
04805007
负责人：
岡田龍雄
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

レーザーアブレーションによる薄膜作製に関連して,アブレーションで生成した粒子が基板に付着する過程を研究するため新たな研究手法の開発を試みた。すなわち,高温超伝導体薄膜作製に関連してYBa_2Cu_3O_<7-x>をArFレーザーでアブレートして生成したBa原子ビームを基板に入射して,入射Ba粒子と基板で散乱されたBa粒子の振る舞いをレーザー誘起蛍光分光法で調べた。その結果,以下のことが明らかになった。(1)レーザーアブレーションで生成したBa原子ビームは,数eVと大きな運動エネルギーを持っている。(2)このビームをSi基板に入射したところ,入射粒子の一部は基板に付着することなく散乱される。(3)散乱された,粒子の空間分布はほぼ余弦角度分布則に従って散乱される。(4)散乱された粒子の速度は,入射粒子のそれに比べて約1/6に減速されており,入射粒子の持っていた運動エネルギーの大部分は基板へ付与されている。これにより,本研究の手法が粒子と基板との相互作用を研究するのに有力な手段となることが確認された。また,アブレートするターゲットを選択すれば各種のラジカルビームを発生できると考えられるので,広く他の粒子種にも適用できる一般的手法になると期待される。

Relevant film production and production The particle and substrate are attached to the substrate and the process is researched. The new research method is developed and tested.すなわち, High-temperature superconductor thin film production and related production The Ba atoms are incident on the substrate, and the incident Ba particles and the substrate are scattered, and the Ba particles are vibrated and induced by spectrophotometry.そのRESULTS,The following のことが明らかになった. (1) レーザーアブレーションでGenerationしたBa atomビームは, number eVと大きなmotionエネルギーをholdっている. (2) The Si substrate is incident on the Si substrate, and the incident particles are dispersed on the substrate. (3) Scatter means that the spatial distribution of particles means that the cosine angle distribution means that the particles are scattered. (4) The speed of scattered particles is reduced, and the speed of incident particles is about 1/6 slower than that of incident particles.おり, the movement of incident particles is controlled by the motion of most of the substrate, which is applied to the substrate. The method of this study is the particle and substrate interaction, the research is a powerful method, and the method is confirmed. It's a good choiceと考えられるので, 広くhis の particle kind にも applies できるgeneral techniques になるとexpects される.