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透明固体内に生成されたマイクロプラズマのダイナミックス計測

透明固体中产生的微等离子体的动力学测量

基本信息

批准号：
18030010
负责人：
岡田龍雄
金额：
$ 2.56万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究の目的は,パルスレーザー光により透明固体媒質内,あるいは固体-固体の界面に生成されるマイクロプラズマのダイナミックスの解明である.そのようなマイクロプラズマは,高温・高圧を容易に生成できるので,新しい材料創製や加工の場として観点から研究を実施した.その結果,次のような成果が得られた.1)昨年度に引きつつき,炭素とガラス,Geとガラス界面に発生したマイクロプラズマの時間積分スペクトルを測定した.その結果,大気中でカーボンやGeのマイクロプラズマを発生した場合,材料固有のスペクトルが観測されるのに対して,ガラス-固体界面に生成したプラズマでは,材料によらないブロードなスペクトルとガラスが気化したと思われるシリコンの発光線が得られることを明らかにした.シリコンの発光線は,プラズマ生成後100 ns 以降で観測されることから,高温プラズマの冷却による再結合で生成されていると推定される.2)石英ガラス等の透明材料の微細加工に界面プラズマを利用する可能性について検討した.吸収体の同一箇所にレーザー照射すると,照射回数とともにプラズマ強度が急速に弱くなる現象が見られた.そこで,吸収体と透明材料をほぼ接触したままで,吸収体を連続的に移動して安定なプラズマを長時間生成できる装置を試作した.4)試作した装置を用いて,石英ガラスおよびサファイア基板表面に,TEM用グリッドをマスクパターンに用いてそのパターンを転写することに成功した.レーザー生成界面プラズマが透明材料ののマイクロ加工に有用であることを示した.

The purpose of this study is to generate a solid-solid interface in a transparent solid medium. High temperature, high temperature and high temperature. According to the results of the test, the results of the sub-test were satisfactory. 1) Last year, there was an introduction to carbon testing, carbon testing, and Ge testing. The interface was used to determine the quality of the test. As a result, the results show that in the system, there are significant differences between the two parts of the material, the inherent properties of the material, and the interface between the material and the solid. as a result, the results show that in the Ge system, there are significant differences in the results of the results, the results show that the inherent properties of the material are affected. This is due to the formation of transparent materials such as quartz and other transparent materials, such as micromachining, and so on. 2) the formation of transparent materials such as quartz and other transparent materials, such as quartz, can be used to reduce the temperature, temperature and temperature. In the same place, the inhaler is exposed to the same amount of light, and the number of times it is irradiated is strong, rapid, weak, weak, strong, weak, weak, strong, weak, weak The transparent material of the absorber is in contact with the substrate, and the transfer of the absorber is stable. The device is used for a long time. 4) the device is used as a device, the quartz device is used to change the surface of the substrate, and the TEM is used to write the device successfully. The generation interface is useful for processing transparent materials.