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レーザーアブレーション加工中の放出粒子の挙動に関する研究

レーザーアブレーション加工中の放出粒子の挙動に関する研究
激光烧蚀加工过程中发射粒子行为的研究
批准号：
05239209
负责人：
岡田 龍雄
金额：
$1.66万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1993
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1993 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05239209/
关键词：
レーザーアブレーションレーザー誘起蛍光法高温超伝導薄膜

项目摘要

项目成果

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レーザーアブレーションによる高温超伝導体薄膜の作成プロセス中の粒子挙動のその場計測にレーザー誘起蛍光法を適用し、アブレーション成膜プロセスにおけるエネルギーおよび粒子輸送について幾つかの知見が得られた。これらをまとめると以下のようである。(1)酸素ガス中のアブレーションでは、放出粒子はその大きな運動エネルギーにより衝撃波を駆動しながら進展するが、ターゲットからある点でその進展は停止する。その後、拡散より輸送される。(2)分子の内部エネルギーは、拡散段階でも1000K程度の高温に保たれている。(3)基板を粒子群の進展位置に対して何処に置くかで、基板との相互作用の様子が異なることを示した。(4)放出粒子の流体的振る舞いが、酸化程度、付着程度、クラスター化とも密接に関連していると推察される。本年度は、YO分子の挙動を中心にLIF計測を行ない、その結果を理想的な衝撃波モデルにより解釈し、レーザーアブレーションプロセスによる成膜メカニズムの考察を行なった。今後の課題は、粒子挙動のより詳細な把握を行ない、この解釈の妥当性を確認することである。
期刊论文(10)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T.Okada 他: "Piezoelectric sencing of particles produced by pulsed-laser ablation of YBa_2Cu_3O_<7-delta>" Jpan.J.Appl.Phys.32B. L1535-L1537 (1993)
T. Okada 等人：“脉冲激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-δ> 产生的粒子的压电传感”Jpan.J.Appl.Phys.32B (1993)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.Nakata 他: "Plume-substrate interaction in pulsed-laser deposition of high-temperature superconducting this films" Appl.Phys.Lett.(印刷中).
Y. Nakata 等人：“高温超导薄膜的脉冲激光沉积中的羽流-基底相互作用”Appl.Phys.Lett（正在出版）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
W.K.A.Kumuduni 他: "Transport of YO melecules produced by ArF laser ablation of YBa_2Cu_3O_<7-delta> in ambient oxygen gas" J.Appl.Phys.74. 7510-7516 (1993)
W.K.A.Kumuduni 等人：“在环境氧气中通过 ArF 激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-δ> 产生的 YO 分子的传输”J.Appl.Phys.74 (1993)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
W.K.A.Kumuduni 他: "Spatial distribution of YO molecules ejected from laser ablated YBa_2Cu_3O_<7-X>" Appl.Phys.Part B. (印刷中).
W.K.A.Kumuduni 等人：“激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-X> 中喷射出的 YO 分子的空间分布”Appl.Phys.Part B.（正在印刷中）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
酸化亜鉛ナノワイヤのオンデマンド場所選択成長
  • 批准号：
    21656085
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.98万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    岡田 龍雄
  • 依托单位：
    Kyushu University
ナノ微粒子支援レーザ堆積法による酸化亜鉛ナノワイヤの合成と発光素子への応用
  • 批准号：
    08F08068
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.02万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    岡田 龍雄
  • 依托单位：
    Kyushu University
透明固体内に生成されたマイクロプラズマのダイナミックス計測
  • 批准号：
    18030010
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $2.56万
  • 财政年份：
    2006
  • 负责人：
    岡田 龍雄
  • 依托单位：
    Kyushu University
ナノ微粒子支援異方性堆積法で作製したZnOナノロッド結晶の電解放出素子への応用
  • 批准号：
    16656096
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.79万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    岡田 龍雄
  • 依托单位：
    Kyushu University
海外基金